扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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D?Ol)aj? gJwX 建模任务 {be|G^.c _z]v;Q K\ pZ 仿真干涉条纹 '^7Z]K <v L28wT)D- v%`k*n': 走进VirtualLab Fusion ;H%'K 9(=+OQ6
lv.h?"Ml =Ldf#8J VirtualLab Fusion中的工作流程 3\ )bg
R: UDkH'x$= •设置输入场
>PdrLwKS \mb@-kM) •使用导入的数据自定义表面轮廓
56C'<# •定义元件的位置和方向
C)qG<PW.! Ygfy;G% •正确设置通道以进行非
序列追迹
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/Cx ]B&jMj~y& •使用
参数运行检查影响/变化
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ZW;Re5?DJ Zn|lL0b{q VirtualLab Fusion技术 0 >(hiTy<