扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊
干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
`ZLA=oD w.9'TR /t;Kn m #$*l#j"#A 建模任务 vN8Xq+ X ^\kI1 _N2tf/C&= 仿真干涉条纹 d:%!)s \NTNB9>CO y'21)P 走进VirtualLab Fusion !3JYG ADW> +^tw@b G&f~A;'7k VirtualLab Fusion中的工作流程 |`c=`xK7' c_+y~X)i •设置输入场
f83Tl~ @,%IVKg\ •使用导入的数据自定义表面轮廓
u''~nSR3& •定义元件的位置和方向
HLp9_Y{X. 48t_?2> •正确设置通道以进行非
序列追迹
\UR/tlw+/ D$$,T.'u •使用
参数运行检查影响/变化
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