tN}c0'H 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
PY-+ Bf
{,Fcd(MU
kO+s+ 55
|Ng"C`$oqv 建模任务 6ZOAmH fs -5xCQJ[
<A{y($ 光栅特性与参数的严格分析 u}m.}Mws -ek1$y9) 不同光栅周期下的衍射效率 (H1lqlVWV# ?@3&dk~ni
!&JiNn(' H!. ZH(asY 关于光栅周期选择的考虑 r w\D>}\
ngLJ@TP-
x
^[F]YU yLB~P7K 偏振相关的衍射特性 3I\m,Ob #s{aulx
RJ*F>2 ^Xa*lR 3
Jh^8xI,`C N33AcV!*8
CrO`=\ Pxk0(oBX 通过参数优化进行光栅设计 x5PPu/ %wtXo BJ 固定周期的2D参数优化 *;P2+cE>H3 QXB|!'
Q)T+r~#2B 2D参数优化–设计1 .<dOED{v
v~aLTI
?$16A+ itHM7d 2D参数优化–设计2 hk.yR1Y|
/4-}k
yXrd2?Rq@ >fg4x+0 % 制造公差分析–设计2 C/y(E|zC$
%i3{TL
uR^. X?R
|x[ 变化光栅周期的3D参数优化 Hh@2 m\HA
?CFoe$M
I8Kb{[?q -tMA 制造公差分析 "]UIz_^'`U
DU`v J2
ZqFUPHc R|-j]Ne 走进VirtualLab Fusion M2L0c?
?y46o2b*)
V $>"f( T$IUKR VirtualLab Fusion中的工作流程 8
#Fh>
%b9fW
j)BQMtt&U Gn[ *?=Vy •构造光栅
结构 %:%MUdl6 Qi"'bWX@ [用例]
9':/Sab:7v •分析光栅衍射效率
Op90NZI#K HGb.656r •使用参数运行搜索初始解决方案
Z>&K&ttJ Z7oaQ\fR •通过参数优化找到最终设计
ho_4fDv ^^eV4Y5`+ VirtualLab Fusion技术 _\!0t UC(9Dz
,uO?;!t