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光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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结构 *C^`+*}OE$ kQtnT7 [用例]
f{R/rb&iB •分析光栅衍射效率
Snas:#B! Y&*nj`n •使用参数运行搜索初始解决方案
5'"9)#Ve eJZt&|7N •通过参数优化找到最终设计
ZOHGGO]1M #xxs^Kbqa# VirtualLab Fusion技术 J|o )c~ }{) >aJ
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