fsqK(io28 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时，具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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9[}L=n BL1$ ~0 建模任务 }$5S @, Lqy]bnY 
Dz$GP A 光栅特性与参数的严格分析 o /273I t|q@~B
: 不同光栅周期下的衍射效率 71`)@y,Z, 4'JuK{/ A7 
P)x&9OHV -Z )j"J 关于光栅周期选择的考虑 4PG]L`J{
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A?[06R5E# kGm-jh 偏振相关的衍射特性 tA'O66. Y?G9d6]Lk6 
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x=(y .OI&Zm- 通过参数优化进行光栅设计 1fwjW0t G3O`r8oZcJ 固定周期的2D参数优化 <u>l#weG , e7X#C) 
Zd$a}~4~ 2D参数优化–设计1 82ay("Z Y
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./SDZ:5/ 4^4<Le-G •构造光栅
结构 @E Srj[ 4yOYw*X [用例]
k@[\ C`P •分析光栅衍射效率
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vq5Cz qUNK Dt •使用参数运行搜索初始解决方案
j1[Ng #. .`./MRC •通过参数优化找到最终设计
)\nKr;4MH Uk @du7P1k VirtualLab Fusion技术 4oxAC; L Kkfz a 
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