|mQtjo 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
PO1:9 @MlU!oR&
(IoPU+1b N:PA/V^z 建模任务 V(''p{ lt2Nwt0bv
G+ $)W
u 光栅特性与参数的严格分析 @??c<]9F /C,> 不同光栅周期下的衍射效率 6'No4[F
4n JucxhjV#,
Q[ 9rA V\rIN}7 关于光栅周期选择的考虑 f>wW}-
7fN&Q~.
>DL-Q\U ?*z(1!
偏振相关的衍射特性 ~-`BSR Sf4h!ly
{-v\&w u':0"5}
-u3SsU)_%N LjH&f 4mY
@8Q+=abz jy__Y=1} 通过参数优化进行光栅设计 T^(n+ lv y_7XYT!w 固定周期的2D参数优化 =-Q zZ+LisS s&
@k:f}-t 2D参数优化–设计1 Qq FfR#
q/w6sQx$
1n"+~N^\ iM\ZJ6 2D参数优化–设计2 21/a3Mlx#
O275AxaN
(;Q <@PZg P=SxiXsr$ 制造公差分析–设计2 !irX[,e
*F8uu.
'/yx_RK2? iz
GaV[ 变化光栅周期的3D参数优化 dn)tP6qc/
1z};"A
Y%?!AmER QhE("}1 制造公差分析 [@. jL0>
E~Up\f
d$?n6|4 pqQdr-aR= 走进VirtualLab Fusion #Mem2cz
Kt* za
i2ml[;*,N
4qSS<SqY VirtualLab Fusion中的工作流程 ^%*{:0'
0.Ol@fO
*(SBl}f4l .IAHy)li" •构造光栅
结构 _OxnHf:| fN*4(yw [用例]
|z7Crz •分析光栅衍射效率
n%ArA])_& yA>p[F •使用参数运行搜索初始解决方案
1'U%7#;E 8JFkeU%yO •通过参数优化找到最终设计
vVN[bD< %"KWjwp VirtualLab Fusion技术 (zLIv9$ n$![b_)*
@
H`QLm