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光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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TEDAb> 光栅特性与参数的严格分析 Duc#$YfGm *
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gUeuUj J!:SPQ 关于光栅周期选择的考虑 !9xp cQ>
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9k 6r_G" n(el]_d •构造光栅
结构 5sb\r,kW E<c9#I= [用例]
FHC\?Cg •分析光栅衍射效率
6qp%$>$Vt; #es9d3~\ •使用参数运行搜索初始解决方案
LA`*_|}qcR Qm/u h •通过参数优化找到最终设计
w08?DD]CDt mVR P~:+ VirtualLab Fusion技术 El@(mOu| ="g*\s?r
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