ujX;wGje 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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2H)4}5H !B}9gT 建模任务 {}$7B p @a?7D;+<
RDp 光栅特性与参数的严格分析 akzGJ3g bItcF$#!!! 不同光栅周期下的衍射效率 zl|z4j'Irc J{1H$[W~}
c0gVW~I1 #4msBax4 关于光栅周期选择的考虑 &xQM!f
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"0P`=n lb-1z]YwQ 偏振相关的衍射特性 5*pzL0,Y 3S:Lce'f
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FvxM `OBzOM 通过参数优化进行光栅设计 8Y?M:^f~ ,twx4r^ 固定周期的2D参数优化 `r`8N6NQ&] -Z"4W
hw^&{x 2D参数优化–设计1 y2G Us&09
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#Vq9 =Q2 pjWRd_h. 变化光栅周期的3D参数优化 cuhp4!!
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Q.g/ 制造公差分析 *;o%*:
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e8F]m`{_" jf~](TK •构造光栅
结构 WAa45G XcVN{6-z [用例]
1)ue-(o5 •分析光栅衍射效率
~||0lj.D -50DGA,K6 •使用参数运行搜索初始解决方案
j9p6rD oP&/>GmXL •通过参数优化找到最终设计
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t%As PsC")JS VirtualLab Fusion技术
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