QqDF_ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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}XUHP% 光栅特性与参数的严格分析 kahv1s- s2E}+
# 不同光栅周期下的衍射效率 ^ey\ c1K L \$zr,=C
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'~L} 偏振相关的衍射特性 pxN'E;P- &qr7yyY
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制造公差分析–设计2 aCMcu\rd
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$q+7,," .OjJK? •构造光栅
结构 T^79p$ mr;WxxO5 [用例]
S`-z$ph} •分析光栅衍射效率
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N[V •使用参数运行搜索初始解决方案
{c$W-t):U| 5/(Dh![l •通过参数优化找到最终设计
U9@q"v- b w cPY VirtualLab Fusion技术 TEYbB=. %~eZrG.
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