_Tz!~z 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
t+ ]+Gn h+@t8Q;gGw
th,qq "(qO}&b> 建模任务 l/LUwDI{ w2L)f,X
WgB,,L, 光栅特性与参数的严格分析 |0-L08DW C@i g3fhV 不同光栅周期下的衍射效率 \O~7X0 <W nE84W$\
r_m&Jl@4 B#yyO>0k] 关于光栅周期选择的考虑 j Xf-+;ZQ
sx\7Z#|
JnDR(s4(E .O^|MhBJu 偏振相关的衍射特性 D=Y HJ>-wB H<"j3qt
a\MJbBXv t {}1f
4r*6fJ*bJ O"Q=66.CR
m/AN*`V x!+a,+G 通过参数优化进行光栅设计 xj<SnrrC]u w[&BY 固定周期的2D参数优化 VbYapPu4b! 2RCnk&u
l?;S>s*\? 2D参数优化–设计1 tJP(eaqZ
14R))Dz"
+#no$m.bH 3'wBX 2D参数优化–设计2 cg5DyQ(
"oQ@.]-#
jI%yi-<; %y q}4[S+o 制造公差分析–设计2 gnGw7V
:>k\uW
NO1PGen .uP$M(?j 变化光栅周期的3D参数优化 q,GL#L
YAog;QL
~ocr^V{"<~ ]+8,@%=" 制造公差分析 _u0dt) $
]rS+v^@QH
!FO)||'[ _!CH 走进VirtualLab Fusion cW
RY[{v
3]i1M%'i
,x/j&S9! ;k0*@c* VirtualLab Fusion中的工作流程 2+.m44>Ti
*uIHa"
.JqIAC~ 19S,> •构造光栅
结构 <+a\'X c -l",!sV [用例]
|Bid(`t. •分析光栅衍射效率
f} apn= 1gC=xMAT •使用参数运行搜索初始解决方案
7"NUof?i MAXdgL[] •通过参数优化找到最终设计
<
5ow81 !q X7 VirtualLab Fusion技术 z)26Ahm TV L4!$bB~L-
&Wba2fD