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光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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<Gy)|qpK[ C?bq7kD:H 建模任务 "8Ud&o ;a/Gs^W
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X >bC- 光栅特性与参数的严格分析 "lo:"y(u -E4e8'P;5 不同光栅周期下的衍射效率 d/8I&{. r/E;tm[\
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"-Lbz)k zV\\T(R) 偏振相关的衍射特性 s[|sfqB1` e9;<9uX
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8[SiIuIV ~3Y)o|D3 通过参数优化进行光栅设计 [XWY-q#Gg 66x>* 固定周期的2D参数优化 9x/HQ(1 `1F[.DdF
>-YPCW 2D参数优化–设计1 ?b0 VB
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6RV]9 0x!XE|7I 制造公差分析 ]%jlaXb
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8;YeEW5 3!M;Z7qF] 走进VirtualLab Fusion zXQo pQ1
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VirtualLab Fusion中的工作流程 ((wG
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F|q-ZlpW- |?6r&bT •构造光栅
结构 "h'0&ZP~_ Hzs]\%" [用例]
O;c;>x_dA •分析光栅衍射效率
0UeDM* @EH:4~ •使用参数运行搜索初始解决方案
Kl<qp7o0 BRF=TL5Z •通过参数优化找到最终设计
EotZ$O= 8jW{0&ox) VirtualLab Fusion技术 _V6jn~N 6]^;
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