cNj*E
=~; 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
' qy#)F <Tx C!{<
2U9&l1P= bx>i6
R2 建模任务 uRQ_'l 16$y`~c-z
!kXeO6X@m 光栅特性与参数的严格分析 Y&~M7TY b 9+Nw/eszO 不同光栅周期下的衍射效率 L'9N9CR{i c3k|G<C2
sX:lE^)-z Zq*eX\#C 关于光栅周期选择的考虑 s, XM9h>P4
wFL3&*
8Rxc&`_X )#`H."Z 偏振相关的衍射特性 `|<+ ? jTSOnF}C~+
<y>:B}9' 6c<ezEJ
#D)x}#V\ %j{.0H
~HDdO3 o6|-=FcvC 通过参数优化进行光栅设计 I]uhi{\C %EI<@Ps8c 固定周期的2D参数优化 C5n?0I9 '[Gm8K5
N[k<@Q?*a 2D参数优化–设计1 )+Y&4Qu
^ vbWRG~
<k]qH-v4 F~_;o+e;X 2D参数优化–设计2 Z2p> n`D
(wA?;]q(
!T'X
'Q 509Q0 [k 制造公差分析–设计2 #WufZ18#
P*G+eqX
Q$=*aUU%G V(mnyI 变化光栅周期的3D参数优化 X+ f9q0
yFM>T\@
km\%BD~ 77Q}=80GU; 制造公差分析 Oif,|:
I/p]DT
zvf3b!} N z~"vi(t 走进VirtualLab Fusion &" h]y?Q
?R6`qe_F
D1X{:#| SS8ocGX VirtualLab Fusion中的工作流程 OE"<!oIs
E
$6ejGw-
p&3>
`C ybvI?# •构造光栅
结构 I@./${o Y60"M4j [用例]
+1@AGJU3 •分析光栅衍射效率
Q4K+*Fi} |:2c$zq •使用参数运行搜索初始解决方案
jA`a/vWu Hed$ytMaGz •通过参数优化找到最终设计
?`P2'i<b uO'/|[`8 VirtualLab Fusion技术 \P?A7vuhLs A1_ J sS
'ZnIRE,N