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光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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8qoA5fW> 0+AMN- 建模任务 X=Jt4 h9 `k(m2k?
hbs /S 光栅特性与参数的严格分析 `)TgGny01 g-cg3Vso 不同光栅周期下的衍射效率 [<nd+3E 'a"Uw"/p[
\xmDkWzE p:3w8#)MZ 关于光栅周期选择的考虑 CW+gZ!
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{,= hIXo> ZHCrKp 通过参数优化进行光栅设计 CiTWjE?|7 (N5"'`NZA 固定周期的2D参数优化 !p_l(@f ^!x qOp!
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In*0. Ad4-aWH VirtualLab Fusion中的工作流程 7>-99o^W
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,,-j5Y m*v@L4t(1 •构造光栅
结构 2SKtdiY o@YEd d [用例]
},#AlShZu •分析光栅衍射效率
_V` QvnT} Ef=4yH?\j •使用参数运行搜索初始解决方案
@"m+9ZY <lWBhrz •通过参数优化找到最终设计
'@"A{mrE 5e2yJ R VirtualLab Fusion技术 P5'VLnE R{ M*dou_Q
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