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    [技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-11-15
    J7{D6@yLS  
    光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ak:f4dEd  
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    光栅特性与参数的严格分析 |p*cI @  
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    不同光栅周期下的衍射效率 Txe*$T,(  
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    关于光栅周期选择的考虑 ' cS| BT  
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    偏振相关的衍射特性 CcV@YST?  
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    通过参数优化进行光栅设计 JCZ&TK  
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    固定周期的2D参数优化 {s6#h#U  
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    2D参数优化–设计1 <]oPr1  
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    2D参数优化–设计2 jL 3 *m  
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    制造公差分析–设计2 I~"l9Jc!"  
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    变化光栅周期的3D参数优化 }p)a 7xn}  
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    制造公差分析 Bz:Hp{7&  
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    走进VirtualLab Fusion @ K2Ncb7  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 NLgeBLB  
    8|hi2Qeu,c  
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          NY[48H  
    •构造光栅结构 .Z17X_  
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    [用例] K TE*Du  
    •分析光栅衍射效率 4dSAGLpp  
    \IR $~  
    •使用参数运行搜索初始解决方案 +}-cvM/*  
    qX[C%  
    •通过参数优化找到最终设计 73nmDZO|  
    AMK3I`=8WO  
    VirtualLab Fusion技术 k5)IBO  
    c Ct5m  
       HE2t0sAYX  
      
     
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