* F%Wf 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
"5u*C#T2$ ^AtAfVJN0
u
HqP b8 cq+|fg~Yy 建模任务 %Kx:'m%U | ?3\xw
xtYX}u 光栅特性与参数的严格分析 fOCLN$x^ f4)fa yAVp 不同光栅周期下的衍射效率 ya3A^&: (:Rj:8{
w~hO)1c],: js)M
c*]& 关于光栅周期选择的考虑 t7tX<|aN
`z%f@/:fG
0]=|3-n z^+f3-Z 偏振相关的衍射特性 QNn\wz_) __M(dN(^
F|3Te?_ p/L|;c
.dX ^3 awh<CmcZ
0>Iy`>] "n3r, 通过参数优化进行光栅设计 WzZ<ZCHm o^FlQy\ 固定周期的2D参数优化 OjTb2[Q P*Va<'{:{
:,%~R2 2D参数优化–设计1 ~``oKiPg@
UIgs/
Ws ya:9| VA+
?xk 2D参数优化–设计2 >Lj0B%^EvM
")m0{
/ r6^]grg Y!s94#OaZ 制造公差分析–设计2 NQ~keN
z5`AJrj%
){^o"A?-: 4{4VC"fa 变化光栅周期的3D参数优化 &{E1w<uv
ln.'}P
Kab"r_' "=<T8M 制造公差分析 `L# pN5
pFb}5Q
`&y Qtj#
' n4 A_vz 走进VirtualLab Fusion "IQ' (^-P
k|V%*BvY>
hZ@frbuowk $Y'}wB{pc VirtualLab Fusion中的工作流程 M ,!Dhuas
MiHa'90{K
W;%$7&+0 &h^E_]P •构造光栅
结构 WOBLgM,| I!sh+e [用例]
&w15GO;4 •分析光栅衍射效率
tNpBRk(} u~b;m
•使用参数运行搜索初始解决方案
CVUA7eG+ *UL++/f •通过参数优化找到最终设计
_mSDz=!Z3 RE)!b
VirtualLab Fusion技术 E%Tpby}^' Z[9)
hGh
(j<FS>##