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光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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R(#ZaFuo[ f+4j ^y} 建模任务 dU|&- .rG )8V=!73
EskD)Sl 光栅特性与参数的严格分析 DP!~WkU~ ,xy$h }g 不同光栅周期下的衍射效率 d0 8:lYQ Z (C0+A\
e0`5PVJ LDj*~\vsq 关于光栅周期选择的考虑 8]l(D
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"IRF^1 p {w<"jw&2 偏振相关的衍射特性 /(DnMHn\ |) CfO 4
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D& 通过参数优化进行光栅设计 B;J8^esypD hWRr#030 固定周期的2D参数优化 6sNw#pqh l|K$6>80
G)&S%R!i\N 2D参数优化–设计1 SX[
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`pfRY! }gKJ~9Jg VirtualLab Fusion中的工作流程 $
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TVAa/_y2` nRs:^Q~o •构造光栅
结构 E_Fm5zb?X Hh*
KcIRX [用例]
I !O5+Er •分析光栅衍射效率
OOnhT j eyGIY •使用参数运行搜索初始解决方案
OtoG,~? c"/Hv •通过参数优化找到最终设计
X}`39r. :jFZz% VirtualLab Fusion技术 x@tI piXL6V @c
3;3 cTXR?=