u(g9-O 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
&'c&B0j 5$c*r$t_RK
43Ua@KNi >Dq&[9,8 建模任务 IhXP~C6 ^@;P -0Sy
N2&h yM 光栅特性与参数的严格分析 M!
uE#| B dxV [SF 不同光栅周期下的衍射效率 6o~CX #4F0o@Z
U\6Ee-1#_ Xd'B0kQaT 关于光栅周期选择的考虑 T26'b .
P.kf|,8L
h 2C9p2. =/bC0bb{i 偏振相关的衍射特性 `Lr|KuFN %Ktlez:S
[ip}f4K Y"E*#1/
N.-*ig.YR7 #X*=oG
}kMKA.O" ZC9S0Z 通过参数优化进行光栅设计 TJs ~}&L W=2#Q2) 固定周期的2D参数优化 ]_2<uK}fg $aj:\A0f
cL:hjr" 2D参数优化–设计1 I GB)
>7 qZ\#
*zWf8X 7QHrb'c 2D参数优化–设计2 teJY*)d
bOK0^$k
3.@ir"vy )`}4rD^b 制造公差分析–设计2 ig4mj47wJ
<ugy-vSv
1p(9hVA lA,*]Mr~ 变化光栅周期的3D参数优化 O:+?:aI@
1qh SN#s{_
R^Y_i [+b&)jN*2 制造公差分析 :6W* ;<o
y@\J7 h:
89J7hnJC M$2lK^2L 走进VirtualLab Fusion n4
J*04K
Fy^MI*}BZ
t#=FFQOt ]Yt,|CPe2 VirtualLab Fusion中的工作流程 ?xtP\~
|%fM*F^7/
DTCOhUIV <[tU.nh •构造光栅
结构 9^^:Y3j hmJa1fw= [用例]
9l}G{u9a •分析光栅衍射效率
%Q|Hvjk=E [u7i)fn5? •使用参数运行搜索初始解决方案
{GS$7n myDcr|j-a •通过参数优化找到最终设计
L*1yK* U$j?2|v-x VirtualLab Fusion技术 n<Z1i) O8 5) ^
'~[JV>5