i8>^{GODR 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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GsvB5i 光栅特性与参数的严格分析 I+_u?R)$ B3-;]6 不同光栅周期下的衍射效率 ?s5hckhh =#sr4T
:/941?%M <ZgbmRY8 关于光栅周期选择的考虑 ?(P3ZTk?.
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BaUcmF2Q !pG_MO 通过参数优化进行光栅设计 tv8}O([ QocR)aN=+ 固定周期的2D参数优化 v35=4>Y H:>i:\J/M9
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D?:AHj%gW aS,M=uqqK •构造光栅
结构 Q"2J2211 wW?/`>@ [用例]
o@!Uds0 •分析光栅衍射效率
MhXJ /bup /$NZj"# •使用参数运行搜索初始解决方案
]= nM|e u|}p3-z|Y •通过参数优化找到最终设计
XFv) ]_G "ke>O' VirtualLab Fusion技术 1FfSqd WQ>y;fi5/{
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