\(bj(any 光栅的
衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。
VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。
`^%@b SE( ?i%nMlcc A]xCF{*)& ]bu9-X&T& 光栅详细说明 DKHM\yt
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uMpl#N p UM\}aq=, •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。
xT=ySa$|> •可以在堆栈中指定光栅
参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。
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9. 光栅阶次分析器设置 |0]YA hXTYTbTX •定义光栅
结构后,可以配置光栅阶次分析器。
kQ[Jo%YT?E •可以指定各种输出选项。
zzE]M}s •可以在
光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。
c/RT0xql* c_DaNEfaY f}blB?e #/s7\2 常规设置 "$P'Wv
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cqjl5UB O$U}d-Xnx •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。
"u5KbJW •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。
xyvND Q[jI=$Q) 单个阶次设置 ;t~*F#p(! h,~tXj 0}D-KvjyP Wt"ww~h`( •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。
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E •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数
优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。
}1,'rmT 6N?#b66 单个阶次设置 yIWc\wv C$t.C
rxx qL,ka [bsXF# re/xs~ .Nk}Z9L]k 探测器标签页中的输出 },v&rkwR
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$%G nPcxknl(pd •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。
blUY.{NN3 •这些值在参数运行和参数优化中也可用。
aj?2jU~Pq 9lKRL'QR 极坐标图中的输出 Y}S.37|+^ 'V1!&Q