[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 KAJi  
e(&v"}Ef`  
#P9~}JB3,  
     lN)C2
2  
建模任务 n+9=1Oo"  
R_cA:3qc~  
tKuwpT1Qc  
J1U/.`Oy  
正弦光栅—效率与高度（TEA） Dj?> <@  
F{e@W([  
\.{$11P#  
D/gw .XYL  
正弦光栅—透射相位曲线 C==hox7b  
cl3K<'D  
%IA\pSE  
?zMHP#i  
正弦光栅—透射相位曲线 7aRi5  
O:R*rJ  
Et_bH%0  
PdFKs+Z`  
正弦光栅—衍射效率 EJ.SW5  
2jItq2.>  
2zA4vZkbcw  
p4rL}Jm&  
正弦光栅—效率与周期 \:'/'^=#|  
M/'sl;  
Jt<_zn_FG  
H2\;%
K 2  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 |A~jsz6pI  


nHAS(  
&{hL&BLr  
8 >EWKI
9  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） =o(5_S.u;  
XEp{VC@=  
!Pvf;rNI1T  
0S_~\t  
闪耀光栅—透射相位曲线 %XDc,AR[  
8W(*~}ydYY  
5lmHotj#  
TER=*"!  
闪耀光栅—衍射效率 )9G[d
DeC  
%N6A+5H  
V7Lxfoa4  
c|y(2K)o[=  
闪耀光栅—效率与周期 ,kGc]{'W  
jD]~ AwRJ  
E0=)HTtS  
qJs<#MQ2  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 wu!59pL  
Y
UD`!C  
h8S.x)  
6 7.+ .2  
VirtualLab Fusion一瞥 3{64 @s  
[A~xy'T  
%D34/=(X  
S(lO(gY  
VirtualLab Fusion工作流程 z+wA rPxc  
                                   ]i)c{y  
]=I@1B;_m  
• 设置光栅结构 '~<m~UXvD#  
d#Y^>"|$.  
• 分析光栅衍射效率 (!aNq(   
LV
fF[  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 Lc,Pom  
Tya1/w4  
         3?9IJ5p  
RD
i]2  
     ~s*)f.l  
VirtualLab Fusion技术 NjScc%@y  
,/%=sux  
Xm}/0g&7