一、真空室内,以下配件需要尽量避免使用。 gyIPG2d
\I>,j,c
1.避免使用镀锌件(镀锌螺丝,镀锌的冷压端子),以及含锌的配件(黄铜)JEOL电子枪原配件除外(因为有防护罩) 6xwC1V?:0t
v?}/WKe+0
2.电子枪,离子源等产生电磁场的设备附件,避免使用带磁性配件。 Z(#a-_g
除原厂配件之外(原厂配件的磁性在磁场计算之内) \|kU{d0
区分方法:磁铁吸一下,挑选吸力小的配件 SRMy#j-
/ wEr>[8S
3.离子源等高温配件,尽量使用原厂的镀金螺丝(纯金,非装饰金) JP#m}W
可避免烧结卡死,并对导电有帮助。 GCrMrZ6
{"s8X(#_sC
4.离子源导线尽量使用原厂线,如无原厂,替换时也要注意粗细和长度一致。