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请教菲索干涉系统仿真中波前质量优化问题
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发表于: 2022-10-20
菲索
干涉
系统
通过
标准
参考镜出射理想波前进行检测,测量
精度
取决于参考面面形加工精度,但是在进行菲索干涉系统
仿真
时,不知道是否需要考虑标准参考镜前的扩束准直系统每一部分的出射的波前质量。
b8rp8'M)
ppAmN0=G
请教的问题是,波前质量也要达到测量精度要求,还是只需要达到基本扩束准直效果,如果需要
优化
波前的话,操作数如何控制呢,总是达不到目标波前质量。
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