与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
-r7*C:E ihdN{Mx<2
Hz `aj x[zt(kC0+ 设计任务 9t9x&.A
h,"K+$
nDhr;/"i . _Bejh 仅位相透射设计(IFTA) r3*0`Rup
|wZcVct~
q#$Al /I(IT=kp 仅位相透射设计(IFTA) >+ulLQqe
Wxx?iW ,
OrNi<TY> 2r4owB? 超表面晶胞分析 u_shC"X:
jvv3;lWDL.
F
jsnFX; @i U@JE`C 构建超光栅 YMb\v4
-^yb[b,
MEf`&<t )RG@D\t , 初始超表面设计的评估 ;/l$&:
e)"]H*
]?tC+UKb fyaiRn9/ 参数优化 9$U@h7|Q`
'#pY/,hVB
z><uYO$ /P { Zo 优化超光栅设计的评估 Oh)s"f\N
:Yeo*v9
mCah{~ >U. 走进VirtualLab 2^RWGCEv
Vz_ac
vfk^
lOB*M!8 IdTatE|^ VirtualLab Fusion的工作流程 HmlE Cx 分析超表面晶胞
$v5)d J [&y