[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 >#)%/Ti}DU  
@lWYc`>}  
8L+A&^qx  
H+Aidsn  
建模任务 &u~Pp=kv  
et"Pb_-U  
<<b]v I  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) CF 3V)3}  
     !nq`PyMR  
某一位置的Talbot图样 Si@6'sw  
Wm}gnNwA  
w3z'ZCcr;"  
   I{h KN V  
某一位置的Talbot图样 Q :.i[  
bYoBJ #UX  
Paeq  
?4oP=.  
不同位置的Talbot图样 I,<?Kv  
R$+p4@?S  
F{.\i*$  
>JAWcT)d  
不同位置的Talbot图样 lXZ*Pb<j  
Eh)V
T{vp  
&=MVX>[  
`lQ;M?D  
沿Z轴的强度 8d2\H*a9~  
w$Fg0JS  
C fM[<w   
YYT#{>&  
走进VirtualLab Fusion <_ENC>NP  
D6H?*4f]  
R7U%v"F>`  
     O@4J=P=w  
VirtualLab Fusion的工作流程 gO)":!_n W  
m[KmXPFht1  
 构建光栅结构 zj(V\y&H  
hlDB'8  
&x[7?Y L  
     +wJ!zab`  
 通过参数运行计算不同位置的强度 gnjhy1o  
+'-.c"  
     &^#u=w?^x  
s'
oNW  
     /aMOZ=,q}  
VirtualLab Fusion技术 SJ<v<
B  
TYb$+uY