在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个
图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在
VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。
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v9( ->X' 'xm _oGWE 建模任务 #Sr_PEo
_ rJ4 O_a5/ 
]vMr@JM-G 结构和
材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
U,yU-8z/ y~w2^VN= 某一位置的Talbot图样 ZMy0iQ@
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X #j-Ld{j rP>iPDf 某一位置的Talbot图样 4P( Y34j
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A,{X<mLFb 2--" @@ 不同位置的Talbot图样 a ?/GEfd
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R"EX$Zj^E .8S6;xnkC 不同位置的Talbot图样 t&T0E.kh*X
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光栅结构 U~n>k<`sr , )e&u1' \Z-T )7S XW
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