共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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G/ H>M%M y[ZVi5) , 2. 建模任务 MxOIe|=& <m/XGFc 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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E~c>j<'-"< woa|h"T 3. 聚焦区域的探测场 :w]NN\
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u"Mf xW` 4. 来自测试对象的直接反射 p7W9?b9
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]-' 5. 待测目标成的像 \*M;W|8aB ]E.\ |I(
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-Un"z6* OepQ Z|2 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 V@+X4`T
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r?9".H 0+K<;5"63d 7. 走进VirtualLab Fusion y Ni3@f v|dt[>G
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V& 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 9rIv-&7'm P'<j<h6 0KZ$v/m 使用界面构造光栅
结构 PzT@q\O a^Z=xlJ/uZ 复杂
系统中的光栅建模
|n;5D,r0C `QZKW 正确设置通道以进行多通道
仿真 (,tL(:c \TLfLqA •使用
参数运行检查影响/更改
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;I6C`N lR/Uboyy 9. VirtualLab Fusion 技术 RU~Pa+H
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