共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
R[vA%G ;Im%L=q9GL vP @\" b uOpHQn 2. 建模任务 PO@b9O P
?A:0a 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
(Z |Nz *< 3vC"Q!J& @ i*It Hk ?qJt4Om 3. 聚焦区域的探测场 , #nYH D
jnzOTS
3bBCA9^se f j:q>}V 4. 来自测试对象的直接反射 /BQB7vL
De^Uc
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DOB#PI[/ oksAQnQe NjH`
AMGBT 5. 待测目标成的像 n1 T)lkT? I(Gl8F\c~
Qk[YF LM2S%._cj; 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 l#|wF$J
IY40d^x
ANuO(^ X4dxH_@ 7. 走进VirtualLab Fusion \u$[ $R5 Wo2W/{ c_Lcsn von<I 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 svRYdInBNu wmDO^}>ZP 9NC?J@&B 使用界面构造光栅
结构 (,I9| 8Xx4W^*_ 复杂
系统中的光栅建模
oXFo SSn{,H8/j 正确设置通道以进行多通道
仿真 ncdj/C ZE:!>VXa87 •使用
参数运行检查影响/更改
nw,XA0M3 =Y
{<&:%( ZbfpMZ g Csf!I@}Z {v,NNKQ4x 9. VirtualLab Fusion 技术 0Z1';A3
T8NDS7&?
%Xe 74C"