共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
_(gkYJ+MK Rl0"9D87z paN=I=:*M Hr}"g@ < 2. 建模任务 O\o@] "38<14V 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
3l`"(5 *Uy>F[%@ OPq|4xu *UW 8|\; 3. 聚焦区域的探测场 tGl|/
't8!.k
ZW"f*vwQo Ho/tCU|w 4. 来自测试对象的直接反射 b0h\l#6
;}S_ PnwC@
H@zv-{}T8
S3U]AH)C O{byMV{Ou \,p?pL<' 5. 待测目标成的像 7u^wO<
&``nD 2w1Mf<IXPo
?XyrG1(' B$s6|~ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 7g{JE^u
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0]DX KI k)F!gV# 7. 走进VirtualLab Fusion O(0a l#Fvj ^hEN vFLE%z{\o '#j6ZC/? 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 }>y~P~`S: =|$U`~YB MMaS 使用界面构造光栅
结构 j&A9
&+w G^|b*n!! 复杂
系统中的光栅建模
r?0w5I d^IX(y*$ 正确设置通道以进行多通道
仿真 5)k/4l ' y<`:I|y •使用
参数运行检查影响/更改
~KGE(o4p u|ihUE!h *) \y52z IWN18aaL? $E:z*~? 9. VirtualLab Fusion 技术 loq2+(
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