共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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aTPmW]w6 n }4L q^$ 2. 建模任务 A{ a`%FAV @]B
7(j<'R 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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@8V~&yqq 3Uni{Z]Q) 3. 聚焦区域的探测场 |=ljN7]!
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hOIk6}r4X G>0hi1 4. 来自测试对象的直接反射 CFiO+p&
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7VAet F(;C \[Ep 5. 待测目标成的像 2^=.jML[ i{6wns?KMj
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~QE- $; $7bux1L 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 LkIbvJCV
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uM('R;<^ dSIZsapH 7. 走进VirtualLab Fusion -XARew wT-@v,$
=hB0p^a n ^_B0Rkv 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 dX5|A_Ex .3,6Oo vP{;'R 使用界面构造光栅
结构 hXz@ (cF 0@dN$e 复杂
系统中的光栅建模
`d.4L.], sn.&|)?Fi 正确设置通道以进行多通道
仿真 xl;0&/7e keL!;q|r-) •使用
参数运行检查影响/更改
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5RhP^:i@C < .B^\X$ 9. VirtualLab Fusion 技术 [u}2xsSx
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