共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
6XG+YIG6w 4({=(O h5Z\9`f[ S\X_!| 2. 建模任务 %(e=Q^= DMf9wB 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
Bo0y"W[+ K{iayg!k tou^p-)GQ| utTek5/ 3. 聚焦区域的探测场 TxiJ?sDh*
2
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j=gbUXv/ \UC4ai2MK 4. 来自测试对象的直接反射 ~Ep&:c4:D
P9'5=e@jB
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Qz<-xe`o8] ^ID%pd @V-ZV 5. 待测目标成的像 fSP~~YSeU mrbIoN==` #zQkQvAT9
'Oc8[8 [L\w]6 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 Z/I!\
vbFAS:Y:+
[:k'VXL F+6ZD5/ 7. 走进VirtualLab Fusion E`s_Dr}K 42C:cl} ." X-duG*~ yjpjJ 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 z_H2L"Z Q,4F=b 4a 5n*6G! 使用界面构造光栅
结构 63f/-64?7 f^]AyU;F: 复杂
系统中的光栅建模
@<2pYIi8 j NY8)w_ 正确设置通道以进行多通道
仿真 646yeQ1 +-Dd*yD6< •使用
参数运行检查影响/更改
lz*PNT{E CxRp$;rk u7;A` SN+Bmdup @U)'UrNr~ 9. VirtualLab Fusion 技术 d!d
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