[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

!<((@*zU  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   ldI;DoE#U1  
     )h2wwq0]  
2. 建模任务 fCO!M1t  
WH/
r$.&  
     .CQ IN]iD  
     -]W AB9  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) k2k/v[60  
i,<TaW*I  
2[qO;js  
   nC
GLuZn  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) BU<A+Pe>  
;u!>( QQ  
i7cMe8  
     -'5:Cq  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) ,%v  
"eZNci  
0&2TeqsLh)  
     nd'zO#"m?  
6. 3D仿真与结果对比 {p yo  
Ol{)U;,`  
_Bb/~^  
oPo<F5M]d%  
7. 走进VirtualLab Fusion &AZr(>  
ao
I{<,(  
9_KUUA  
     C;G~_if4PR  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 0Evmq3,9  
7W5FHZd'  
6_^u}me  
 构造光栅结构 g=o)=sQd  
- \_De( p  
 计算光栅结构内部的场分布 aOyAP-m,  
F1w~f <  
J0C,KU(  
b H?dyS6Bx  
9. VirtualLab Fusion技术 \m*?5]m;  
H.'MQ