2LgRgY{Bl 在最近的几十年里,COMS传感器的
像素尺寸由最初大于10um以发展至2um,甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间
分辨率。与此同时,这也为覆盖在每个像素上的微
透镜的功能带来了疑问。在此示例中,我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在
仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。
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B9 2. 建模任务 7Npz
{C{I 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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L%<1cE)) 采用的几何参数来自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
N^)L@6 Nf3L 9m<>G3Jr 3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) M'*
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^oA^z1>3 4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) iLFF "Hs
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rQ/S|gG L8!xn&uyP= 5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) pTcm2-J
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3C.bzw^ nE,"3X" 6. 3D仿真与结果对比 kRG-~'f%`
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h(>4%hF r]2}S=[ 7. 走进VirtualLab Fusion lB,.TK
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P E.^!j VTD'D+t 8. VirtualLab Fusion的工作流程 i5|!MIY KbSIKj 1 [dza5 构造
光栅结构 Cvq2UNz(R -
U2!9Tl9". 计算光栅结构内部的场分布
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