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0z,c6MjM+ 内容简介 za24-q Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 B^KC~W 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 /at#[Pw~01 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 D L$P Qz
$ 1_vO 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 f}@]dF r 目录 >0f5Mjug Preface 1 Haturg 内容简介 2 LEk
W^Mv 目录 i "F0,S~tZZ 1 引言 1 W/+|dN{O+g 2 光学薄膜基础 2 7^:s/xHO* 2.1 一般规则 2 Vls*fY:W 2.2 正交入射规则 3 ty(F;M( 2.3 斜入射规则 6 $o-s?"; 2.4 精确计算 7 R(Z2DEt</ 2.5 相干性 8 9=h A#t.# 2.6 参考文献 10 S c@g;+#QU 3 Essential Macleod的快速预览 10 f^ nogw<z! 4 Essential Macleod的特点 32 V-t! 4.1 容量和局限性 33 lS}5bcjR=k 4.2 程序在哪里? 33 |3vQmd !2} 4.3 数据文件 35 <~f/T]E, 4.4 设计规则 35 U|iSJ%K 4.5 材料数据库和资料库 37 Rg'1 F 4.5.1材料损失 38 3dC8MKPq0 4.5.1材料数据库和导入材料 39 MT a.Ubs 4.5.2 材料库 41 jH\@Oc;7 4.5.3导出材料数据 43 (3 B;
V 4.6 常用单位 43 ;c~6^s`2 4.7 插值和外推法 46 zX|CW; 4.8 材料数据的平滑 50 5q"
;R$+j 4.9 更多光学常数模型 54 ?. CA9!| 4.10 文档的一般编辑规则 55 $T~|@XH 4.11 撤销和重做 56 ~,dj)x
3M 4.12 设计文档 57 670g|&v. 4.10.1 公式 58 YW}1Mf=_ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 H<"{wUPT0 4.10.3 沉积密度 59 (5VP*67 4.10.4 平行和楔形介质 60 <+C]^*j 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {cC9
}w 4.10.4 性能 61 K+PzTGWq^ 4.10.5 保存设计和性能 64 ~[l2"@ 4.10.6 默认设计 64 / [:@j+n\ 4.11 图表 64 +d]} 4.11.1 合并曲线图 67 4RJ8 2yq- 4.11.2 自适应绘制 68 8%2*RKj 4.11.3 动态绘图 68 O Y /QA 4.11.4 3D绘图 69 .-fJ\`^mi 4.12 导入和导出 73 ;PGC9v%i 4.12.1 剪贴板 73 ^uC1\!Q1 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 mJ[LmQ<: 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 NSj}?hz 4.13 背景 77 ,Rz,[KI| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 vY6eg IO 4.15 生成Rugate 84
;OE{& 4.16 参考文献 91 bvs0y7M=' 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Yw4c`MyL 5.1 Jobs 92 ]MRE^Je\h 5.2 创建一个新Job(工作) 93 7[^:[OEE 5.3 输入材料 94 <HI5xB_ 5.4 设计数据文件夹 95 p%_r0 5.5 默认设计 95
E~jNUTq 6 细化和合成 97 2r<UYB 6.1 优化介绍 97 @\b*a]CV 6.2 细化 (Refinement) 98 \snbU'lfP 6.3 合成 (Synthesis) 100 8&f}GdZh 6.4 目标和评价函数 101 yUqvF6+26 6.4.1 目标输入 102 kjJ\7x6M 6.4.2 目标 103 (Sv 7^}j 6.4.3 特殊的评价函数 104 p~$\@8@ 6.5 层锁定和连接 104 tihb38gE 6.6 细化技术 104 \^w=T* 6.6.1 单纯形 105 !nC Z, 6.6.1.1 单纯形参数 106 &}wKC:LSP 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 i=]IUjx< 6.6.2.1 Optimac参数 108 wnN@aO6g* 6.6.3 模拟退火算法 109 )d_)CuUBe 6.6.3.1 模拟退火参数 109 >{$;O 6.6.4 共轭梯度 111 {> pB 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ) yRC$7I 6.6.5 拟牛顿法 112 S\MD]>4 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 rmk'{" 6.6.6 针合成 113 _T<ney}Y< 6.6.6.1 针合成参数 114 +TfMj1Zx 6.6.7 差分进化 114 w' #VN|;;! 6.6.8非局部细化 115 GK2IY 6.6.8.1非局部细化参数 115 MuO7_*q'n 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Lb{~a_c 6.7.1 细化 116 &W)ks 6.7.2 合成 117 0[x?Q[~S_0 6.8 参考文献 117 =3 }@\f# 7 导纳图及其他工具 118 )|q,RAn 7.1 简介 118 gjk=`lU 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 >rB7ms/@E 7.2.1 四分之一波长规则 119 EAqTXB@XU 7.2.2 导纳图 120
QSmE:Y 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 N|WnUlf]: 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Z[slN5]([ 7.5 斜入射导纳图 141 )U`H7\*) 7.6 对称周期 141 72@8M 7.7 参考文献 142 ^kch]?
8 典型的镀膜实例 143 _Oh;._PS 8.1 单层抗反射薄膜 145 cJGA5m/{I 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 plv"/K JM 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 zZ[SC 8.4 W-膜层 148 I^qk` 5w 8.5 V-膜层 149 r9yUye} 8.6 V-膜层高折射基底 150 (uD(,3/Cw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 -$.$6"] 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 3Yp_k 8.9 四层抗反射薄膜 153 N`Zm[Sv7 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _C)u#]t 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 O_FT@bo\ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ,D
[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 Q{Jz;6" 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
ACU0 8.15十五层宽带抗反射膜 159 B@63=a*kG 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 nv2Y6e}dG 8.17 1/4波长堆栈 162 |rq~.cA 8.18 陷波滤波器 163
u> %r( 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 +wY3E*hU 8.20 褶皱 165 a+{YTR>0m 8.21 消偏振分光器1 169 ;KbnaUAS8 8.22 消偏振分光器2 171 fFqK.^Tn 8.23 消偏振立体分光器 172 k&n7_[]n 8.24 消偏振截止滤光片 173 tkR^dC 8.25 立体偏振分束器1 174 Ra;e#)7X 8.26 立方偏振分束器2 177 *J 7>6N:- 8.27 相位延迟器 178 "k"q)5c 8.28 红外截止器 179 Iu[^" 8.29 21层长波带通滤波器 180 'lHtz~[ 8.30 49层长波带通滤波器 181 S2*-UluG 8.31 55层短波带通滤波器 182 OE}L})" 8.32 47 红外截止器 183 #D
.H2'_} 8.33 宽带通滤波器 184 TEE$1RxV( 8.34 诱导透射滤波器 186 \$yI'q 8.35 诱导透射滤波器2 188 qV@xEgW#r 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 jQ4Pv` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 $*MjNj2 8.35 增益平坦滤波器 193 |2
g }i\ 8.38 啁啾反射镜 1 196 kVe^g]F 8.39 啁啾反射镜2 198 (=)+as"u9* 8.40 啁啾反射镜3 199 !:c7I@ 8.41 带保护层的铝膜层 200 )qzJu*cQ 8.42 增加铝反射率膜 201 b0rC\^x 8.43 参考文献 202 n?YGXW/ 9 多层膜 204 3 ^{U:"N0 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 +4GuA0N6 9.2 内部透过率 204 4Qz 9.3 内部透射率数据 205 wAVO%8u 9.4 实例 206 #v89`$#`2 9.5 实例2 210 Ts}5Nk8% 9.6 圆锥和带宽计算 212 n)sK#C-VA 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 :uu\q7@' 10 光学薄膜的颜色 216 !MTm4Ls 10.1 导言 216 ?N,a {#w 10.2 色彩 216 &.K8cphj 10.3 主波长和纯度 220 {SqY77 10.4 色相和纯度 221 A^3cP, L 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 .: 87B= 10.6 色差 226 p!hewtb5 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 QEQ8gfN9> 10.8 颜色渲染指数 234 f2uog$Hk 10.9 色差计算 235 F2z^7n.S 10.10 参考文献 236 @wl80v 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 u17Da9@; 11.1 短脉冲 238 ",#rI+ el 11.2 群速度 239 wAF>C[ <\ 11.3 群速度色散 241 1Q#hanh_` 11.4 啁啾(chirped) 245 p#^L
ZX 11.5 光学薄膜—相变 245 b?B"u^b! 11.6 群延迟和延迟色散 246 rv9qF |2r{ 11.7 色度色散 246 lBD{)Va 11.8 色散补偿 249 eq(|%]a= 11.9 空间光线偏移 256 PcM:0(,G 11.10 参考文献 258 *h@nAB\3 12 公差与误差 260 O|4~$7 12.1 蒙特卡罗模型 260 Hu1w/PLq 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 }x~|XbG 12.2.1 误差工具 267 X'7 T" 5! 12.2.2 灵敏度工具 271 m-, ' 12.2.2.1 独立灵敏度 271 O4]Ss}ol 12.2.2.2 灵敏度分布 275 H+zQz8zMC 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 31w?bx !Pp 12.3 参考文献 276 wW6?.}2zU 13 Runsheet 与Simulator 277 N]KqSpPh 13.1 原理介绍 277 q/m}+v] 13.2 截止滤光片设计 277 BL]!j#''KE 14 光学常数提取 289 L L9I:^ 14.1 介绍 289 riFE.; 14.2 电介质薄膜 289 _^#PV} 14.3 n 和k 的提取工具 295 M}(4>W 14.4 基底的参数提取 302 h*_r='
E 14.5 金属的参数提取 306 3|P P+<o 14.6 不正确的模型 306 ""d3ownKhw 14.7 参考文献 311 \<i#Jn+) 15 反演工程 313 3j]La 15.1 随机性和系统性 313 &XrF#s 15.2 常见的系统性问题 314 hL67g 15.3 单层膜 314 7:jSP$ 15.4 多层膜 314 *v8Cj(69 15.5 含义 319 -S)HB$8 15.6 反演工程实例 319 'G@Npp)&^ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 B 8C3LP}? 15.6.2 反演工程提取折射率 327 6&.[:IHw 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 }..}]J;To 16.1 光学性质的热致偏移 329 JeWW~y`e?{ 16.2 应力工具 335 <ywxz1 i 16.3 均匀性误差 339 /5U?4l(6[f 16.3.1 圆锥工具 339 8eWb{nuJ> 16.3.2 波前问题 341 NawnC!~ $ 16.4 参考文献 343 \< |