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r}f-.Fo 内容简介 S_?}H Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 C!qW:H 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @D0Ut9) 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 14oD^`-t Qx.E+n\ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 m?[F)<~a 目录 s<<vHzm Preface 1 Cc!n`%qc 内容简介 2 Em4TEv 目录 i %}j/G l5 1 引言 1 v`wPdb 2 光学薄膜基础 2 c
(\-7*En 2.1 一般规则 2 CZ]+B8Pl(x 2.2 正交入射规则 3 >{m>&u;Cc 2.3 斜入射规则 6 ?\c*DNM' 2.4 精确计算 7 >Pv%E 2.5 相干性 8 E(u[? 2.6 参考文献 10 g@nE7H1V 3 Essential Macleod的快速预览 10 !>>$'.nb@~ 4 Essential Macleod的特点 32 #wC4$y<> 4.1 容量和局限性 33 {?5EOp~ 4.2 程序在哪里? 33 ?5/Sa 4.3 数据文件 35 N18Zsdrp 4.4 设计规则 35 jriliEz;f 4.5 材料数据库和资料库 37 >aa-ix
& 4.5.1材料损失 38 Nb B`6@r 4.5.1材料数据库和导入材料 39 \UNw43EL 4.5.2 材料库 41 snj+-'4T 4.5.3导出材料数据 43 u_:"
u 4.6 常用单位 43 Xq J@NgsY 4.7 插值和外推法 46 RQe#X6'h 4.8 材料数据的平滑 50 T_\GvSOI 4.9 更多光学常数模型 54 4|Z3;;%+ 4.10 文档的一般编辑规则 55 1lMU('r% 4.11 撤销和重做 56 8c~b7F
\ 4.12 设计文档 57 ;itz`9T 4.10.1 公式 58 $vc:u6I[ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 N %0F[sY6 4.10.3 沉积密度 59 @-u/('vpB 4.10.4 平行和楔形介质 60 $=H\#e)]Ug 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 HYpB]<F 4.10.4 性能 61 *K0CUir| 4.10.5 保存设计和性能 64 =_v_#;h& 4.10.6 默认设计 64 dq|z;,` 4.11 图表 64 !xa,[$w(^ 4.11.1 合并曲线图 67
neOR/] 4.11.2 自适应绘制 68 n]_8!NU 4.11.3 动态绘图 68 w"A'uFXLc 4.11.4 3D绘图 69 odj|"ZK 4.12 导入和导出 73 2&5"m;< 4.12.1 剪贴板 73 S
W 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 #PtV=Ee1 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 t
ZFG`'/ 4.13 背景 77 M[Ls:\1a 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 pspV~9, 4.15 生成Rugate 84 HH[?LKd< 4.16 参考文献 91 n; !t?jnf. 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 OGh bH a 5.1 Jobs 92 %.<w8ag 5.2 创建一个新Job(工作) 93 '<8ewU 5.3 输入材料 94 Po=)jkW 5.4 设计数据文件夹 95 l<^#@S H 5.5 默认设计 95 ~@L$}Eu 6 细化和合成 97 GD.mB[f* 6.1 优化介绍 97 b6oPnP_3P 6.2 细化 (Refinement) 98 f,PFvT$5e 6.3 合成 (Synthesis) 100 R-hqaEB 6.4 目标和评价函数 101 Bz!ddAvlK 6.4.1 目标输入 102 }GQ8|fg`U 6.4.2 目标 103 4$ejJaE 6.4.3 特殊的评价函数 104 r"J1C 6.5 层锁定和连接 104 I@ }:} 8t 6.6 细化技术 104 h^34{pKDn 6.6.1 单纯形 105 <@5# 6.6.1.1 单纯形参数 106 lHz:Iibt 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ;c<:"ad( 6.6.2.1 Optimac参数 108 q^Oq:l$s 6.6.3 模拟退火算法 109 ]?mWnEi!z 6.6.3.1 模拟退火参数 109 j:$2,?|5 6.6.4 共轭梯度 111 ZK3?"|vhC 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 HIi"zo=V 6.6.5 拟牛顿法 112 GEIMCg(TRj 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 "uqa~R{ 6.6.6 针合成 113 %|oY8;0|A> 6.6.6.1 针合成参数 114 0>VgO{X 6.6.7 差分进化 114 EmG`ga)s 6.6.8非局部细化 115 pShSKRg 6.6.8.1非局部细化参数 115 44RZk|U1J{ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 SM![ yC 6.7.1 细化 116 8+v6%,K2 6.7.2 合成 117 htlsU*x 6.8 参考文献 117 <w.V !"! 7 导纳图及其他工具 118 oQWS$\Rr. 7.1 简介 118 Nki18ud# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 =EsKFt" 7.2.1 四分之一波长规则 119 zO9|s}J8q 7.2.2 导纳图 120 VH,k EbJ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 zZki9P
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 H&3VPag 7.5 斜入射导纳图 141 -H'_%~OV( 7.6 对称周期 141 UQ`%,D 7.7 参考文献 142 I2YQIY+ 8 典型的镀膜实例 143 \qV5mD]"M 8.1 单层抗反射薄膜 145 a%*W^R9Ls 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 i+Ob1B@w 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 <s]K~ Vo 8.4 W-膜层 148 @ g~kp 8.5 V-膜层 149 m*CIbkDsZ 8.6 V-膜层高折射基底 150 5#$E4k:YV 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Wy)|-Q7 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 `lN1u'(: 8.9 四层抗反射薄膜 153 :4]&R9J>o 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 0wAZ9AxA{ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 }@!d(U* 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 N!9DZEcm 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 F@"Xd9q? 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 p
Ic;9 8.15十五层宽带抗反射膜 159 o=q
N+-N 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 W(~G^Xu 8.17 1/4波长堆栈 162 ]$y"|xqR 8.18 陷波滤波器 163 { tim{nV 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
|cWW5\/ 8.20 褶皱 165 1#aOgvf 8.21 消偏振分光器1 169 rS>njG;R 8.22 消偏振分光器2 171 wf6ZzG: 8.23 消偏振立体分光器 172 xqmJPbA
8.24 消偏振截止滤光片 173 *ZKfyn$+~ 8.25 立体偏振分束器1 174 F!c%&Z 8.26 立方偏振分束器2 177 xO"5bj 8.27 相位延迟器 178 IDdhBdQ 8.28 红外截止器 179 oopTo51,a 8.29 21层长波带通滤波器 180 Fm*n>^P@Y 8.30 49层长波带通滤波器 181 XH1so1h 8.31 55层短波带通滤波器 182 PKwHq<vAsB 8.32 47 红外截止器 183 d3 fE[/oU 8.33 宽带通滤波器 184 67/hhO 8.34 诱导透射滤波器 186 75Jh(hd( 8.35 诱导透射滤波器2 188 GB^Ch YOb 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 v|t^th, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 v;?t=}NwF 8.35 增益平坦滤波器 193 bveNd0hN 8.38 啁啾反射镜 1 196 1,,o_e\nn3 8.39 啁啾反射镜2 198 9);a 0}*5 8.40 啁啾反射镜3 199 #u|;YC 8.41 带保护层的铝膜层 200 (+CB)nV0IA 8.42 增加铝反射率膜 201 ra_`NsKF} 8.43 参考文献 202 )I.[@#- 9 多层膜 204 A}H)ojG'v 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 2ai \("? 9.2 内部透过率 204 <`H:Am` 9.3 内部透射率数据 205 JgYaA*1X 9.4 实例 206 aR*z5p2-w 9.5 实例2 210 -Ww'wH'2 9.6 圆锥和带宽计算 212 4q~+K'Z 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 fCO!M1 t 10 光学薄膜的颜色 216 \W??`?Idh 10.1 导言 216 niqi DT/ 10.2 色彩 216 NrNbNFfo 10.3 主波长和纯度 220 CIj3D" 10.4 色相和纯度 221 A5y?|q>5 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 l4L&hY^ 10.6 色差 226 Le|Ho^h,Y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Z fL\3Mn 10.8 颜色渲染指数 234 3~a!h3.f 10.9 色差计算 235
Mf/zSQk+ 10.10 参考文献 236 VISNmz2P 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 N/qr}-
3z 11.1 短脉冲 238 3xp%o5K 11.2 群速度 239 EG@*J*|S 11.3 群速度色散 241 9_KUUA 11.4 啁啾(chirped) 245 >9uDY+70I3 11.5 光学薄膜—相变 245 efl6U/'Ij 11.6 群延迟和延迟色散 246 +>44'M^Z|( 11.7 色度色散 246 zRL[.O9 11.8 色散补偿 249 Nyow:7p 11.9 空间光线偏移 256 }yK_2zak5i 11.10 参考文献 258
jiC;*]n 12 公差与误差 260 8e[kE>tS._ 12.1 蒙特卡罗模型 260 ~bdADVH 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 .Rd@,3 12.2.1 误差工具 267 u6awcn 12.2.2 灵敏度工具 271 st+X~;PX* 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ]Tx8ImD#)A 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Ip4CC' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 l{\~I 12.3 参考文献 276 a% Q.8 13 Runsheet 与Simulator 277 *&% kkbA 13.1 原理介绍 277 6AUXYbK, 13.2 截止滤光片设计 277 R1&(VK{ 14 光学常数提取 289 b U-Cd 14.1 介绍 289 (SkI9[1\@3 14.2 电介质薄膜 289 &t5pJ`$(Cy 14.3 n 和k 的提取工具 295 600-e;p 14.4 基底的参数提取 302 (TVzYm
y 14.5 金属的参数提取 306 ppM d 14.6 不正确的模型 306 k8GcHqNHx 14.7 参考文献 311 v,KH2 (N 15 反演工程 313 vaxNF%^~yN 15.1 随机性和系统性 313 \T/~"
w 15.2 常见的系统性问题 314 4IG'Tm 15.3 单层膜 314 y9=/kFPRm 15.4 多层膜 314 B&0-~o3WP 15.5 含义 319 uV#/Lgw{M 15.6 反演工程实例 319 ZgcA[P 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Yih^ZTf]O? 15.6.2 反演工程提取折射率 327 : N> 5{ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 +s
V$s]U 16.1 光学性质的热致偏移 329 V2^(qpM! 16.2 应力工具 335 d-#MRl$rtK 16.3 均匀性误差 339 `-hFk88 16.3.1 圆锥工具 339 xzyV|( 16.3.2 波前问题 341 6*A
S4l 16.4 参考文献 343 k =ru)
_$2 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 q-KN{y/ 17.1 引言 345 v< xe(dC 17.2 操作数 345 7;dV]N 18 如何在Function中编写脚本 351 DQ?'f@I&* 18.1 简介 351 D`o*OlU 18.2 什么是脚本? 351 PxM]3Aoa 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 THi*'D/ 18.4 基础 352 !}9k
@=[ 18.4.1 Classes(类别) 352 {-PD3 [f" 18.4.2 对象 352 g|9'Lk 18.4.3 信息(Messages) 352 pa~.[cBI 18.4.4 属性 352 1Yo9Wf;vP 18.4.5 方法 353 ?>*i8* 18.4.6 变量声明 353 IR;lt 3 18.5 创建对象 354 J)6RXt*! 18.5.1 创建对象函数 355
D^E1 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ZL:nohB 18.5.3 丢弃对象 356 .8<bz4 18.5.4 总结 356 ac6L3=u\ 18.6 脚本中的表格 357 t,]r% 18.6.1 方法1 357 1 xm8w$% 18.6.2 方法2 357 0V
uG(O 18.7 2D Plots in Scripts 358 [>A%% 18.8 3D Plots in Scripts 359 + t({:>E 18.9 注释 360 ,P3nZ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 4yV}4f$q 18.11 一个更高级的脚本 362 f]tc$`vb 18.12 <esc>键 364 ZZL.&Ho 18.13 包含文件 365 ArDkJ`DE 18.14 脚本被优化调用 366 6Z] * ce<r 18.15 脚本中的对话框 368 ^G.PdX$M 18.15.1 介绍 368 g)u
~GA*= 18.15.2 消息框-MsgBox 368 x6d+`4 18.15.3 输入框函数 370 f}PT3 18.15.4 自定义对话框 371 ^vS+xq|4" 18.15.5 对话框编辑器 371 9+)5 #!0 18.15.6 控制对话框 377 Cb~_{$ A 18.15.7 更高级的对话框 380 ijOUv 6=- 18.16 Types语句 384 -/*-e
/+b 18.17 打开文件 385 d[;S n:B 18.18 Bags 387 h[b;_>7 18.13 进一步研究 388 &x
=}m 19 vStack 389 hg_@Ui@[z 19.1 vStack基本原理 389 QCIH1\`jW 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 `h*)PitRa 19.3 五棱镜 393 Squ'd 19.4 光束距离 396 *~~ >? 19.5 误差 399 0"]N9N;/ 19.6 二向分色棱镜 399 Hy`Ee7> 19.7 偏振泄漏 404 48l!P(>?y 19.8 波前误差—相位 405 N=]2vyh 19.9 其它计算参数 405 {gT2G*Ed^Z 20 报表生成器 406 !)~b Un 20.1 入门 406 `1aEV#; 20.2 指令(Instructions) 406 >_bH,/D' 20.3 页面布局指令 406 LxaR1E(Cc' 20.4 常见的参数图和三维图 407 EUZ#o\6 20.5 表格中的常见参数 408 w7aC=B/{?i 20.6 迭代指令 408 SC/|o
20.7 报表模版 408 [9dW9[Z+! 20.8 开始设计一个报表模版 409 5xKo(XNp 21 一个新的project 413 }{/3yXk[G 21.1 创建一个新Job 414 @k~'b 21.2 默认设计 415 \@8j&],dl 21.3 薄膜设计 416 *\ZK(/V 21.4 误差的灵敏度计算 420 !lf'gW 21.5 显色指数计算 422 *F7ksLH|q 21.6 电场分布 424 l'TM^B)`c 后记 426 y
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