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NIcNL(] 内容简介 Q!$kUcky9 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 )7 BNzj"~ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 }Q,C;!'" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Ub-k<]yZ c9 TkIe 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Xwn|. 目录 B\~3p4S Preface 1 !-Tmu 内容简介 2 (4/`@;[ 目录 i ]&%X(jWyn 1 引言 1 W71#NjM2Z 2 光学薄膜基础 2 A 5\"e^> 2.1 一般规则 2 ;Q%19f3,6 2.2 正交入射规则 3 vzQmijr- 2.3 斜入射规则 6 [_z2z6 2.4 精确计算 7 .m
% x-i 2.5 相干性 8 /:];2P6#X 2.6 参考文献 10 .M#>@~XR 3 Essential Macleod的快速预览 10 Vf* B1Zb 4 Essential Macleod的特点 32 |x~ei_x7.p 4.1 容量和局限性 33 ;@$, "
P 4.2 程序在哪里? 33 ;?[ +vf") 4.3 数据文件 35 ;jfXU_K 4.4 设计规则 35 kA$;vbm 4.5 材料数据库和资料库 37 "B{xC}Tw 4.5.1材料损失 38 7*W$GCd8 4.5.1材料数据库和导入材料 39 'Rf#1ls# 4.5.2 材料库 41 v6(l#,
4.5.3导出材料数据 43 ;Z0cD*Jb 4.6 常用单位 43 G7#~=W
2M 4.7 插值和外推法 46 bqLYF[#T 4.8 材料数据的平滑 50 JL+[1=uE1L 4.9 更多光学常数模型 54 ^.aEKr 4.10 文档的一般编辑规则 55 C'#)bX{ 4.11 撤销和重做 56 (3HgI 4.12 设计文档 57 :1Yd;%>92 4.10.1 公式 58 BJ;c F"Kp 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Q14;G<l- 4.10.3 沉积密度 59 _p^ "! 4.10.4 平行和楔形介质 60 e(5Px!B 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 d3hTz@JY 4.10.4 性能 61 P<oD*C 4.10.5 保存设计和性能 64 )HiTYV)]' 4.10.6 默认设计 64 -|UX}t* 4.11 图表 64 [UrS%]OSR 4.11.1 合并曲线图 67 :'Kx?Es 4.11.2 自适应绘制 68 UmMYe4LQR 4.11.3 动态绘图 68 )Syf5I 4.11.4 3D绘图 69 "U~@o4u; 4.12 导入和导出 73 8&iI+\lCy 4.12.1 剪贴板 73 &dMSX}t 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 n/|`Dz. 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 6aK2{-+ 4.13 背景 77 "PP0PL^5F 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 B$eF@v" 4.15 生成Rugate 84 GOgT(.5 4.16 参考文献 91 mAERZ<I 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 :l[Q 5.1 Jobs 92 Ny<G2!W 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Tm,L?Jh 5.3 输入材料 94 833t0Ml1A/ 5.4 设计数据文件夹 95 = nN*9HRD 5.5 默认设计 95 $CV'p/^En 6 细化和合成 97 c7N9X 3A 6.1 优化介绍 97 (9lx5 6.2 细化 (Refinement) 98 / =<ul-K 6.3 合成 (Synthesis) 100 +=xRr?F 6.4 目标和评价函数 101 e;Z`& 6.4.1 目标输入 102 _Pm}]Y:_ 6.4.2 目标 103 lBC-G*# 6.4.3 特殊的评价函数 104 _
q1|\E%`h 6.5 层锁定和连接 104 _ o3}Ly} 6.6 细化技术 104 QAw,X Z.K^ 6.6.1 单纯形 105 #.xTAvD 6.6.1.1 单纯形参数 106 CzbNG^+ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 C\h<02 6.6.2.1 Optimac参数 108 nlnJJM&J$ 6.6.3 模拟退火算法 109 }J
lW\# 6.6.3.1 模拟退火参数 109 f.CI.aozW 6.6.4 共轭梯度 111 $S ("-3 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 H( m+rk 6.6.5 拟牛顿法 112 ${2fr&Tp 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 i`spM<iR. 6.6.6 针合成 113 -JQg{A 6.6.6.1 针合成参数 114 \5_^P{p7< 6.6.7 差分进化 114 }Elce} 6.6.8非局部细化 115 d8I:F9 6.6.8.1非局部细化参数 115 ~;s)0M 6.7 我应该使用哪种技术? 116 N#ObxOE6T" 6.7.1 细化 116 `v
er "s; 6.7.2 合成 117 X"GQ^]$O 6.8 参考文献 117 9jO+ew 7 导纳图及其他工具 118 oa7Hx<Y 7.1 简介 118 1r4/McB 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &d;$k 7.2.1 四分之一波长规则 119 3S?+G)qKo 7.2.2 导纳图 120 u'."E7o# 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 c^k.
<EA 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 _J!mhUA 7.5 斜入射导纳图 141 A4x3TW? 7.6 对称周期 141
O,v$'r W 7.7 参考文献 142 x=)$sD-3 8 典型的镀膜实例 143 \]El%j4 8.1 单层抗反射薄膜 145 '_Op rx 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 /L^dHI]Q 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 9\2&6H 8.4 W-膜层 148 mAa]Et. 8.5 V-膜层 149 V|`|CVFo] 8.6 V-膜层高折射基底 150 p-k qX 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 W@=ilW3RD 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 [l:.Q?? )| 8.9 四层抗反射薄膜 153 Hq$|j,&? 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 sxtGl^,mU: 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Tkf !Y? 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 '~0&m]N 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 t"fD"Xpj 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 O/nS,Ux 8.15十五层宽带抗反射膜 159 AJu. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 DAi[3`C 8.17 1/4波长堆栈 162 x
,W+:l9~s 8.18 陷波滤波器 163 f6) H!SI 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 nc)`ISI 8.20 褶皱 165 TH &B9 8.21 消偏振分光器1 169 d\M
!o*U 8.22 消偏振分光器2 171 t,_[nu(~8% 8.23 消偏振立体分光器 172 %b9M\ 8.24 消偏振截止滤光片 173 ,?+yu6eLb 8.25 立体偏振分束器1 174 3}+
\&[ 8.26 立方偏振分束器2 177 ,d#4Ib 8.27 相位延迟器 178 I5]zOKlVR 8.28 红外截止器 179 )3 8.29 21层长波带通滤波器 180 '>BHwc 8.30 49层长波带通滤波器 181 ?a@l.ZM* 8.31 55层短波带通滤波器 182 ";]m]PRAam 8.32 47 红外截止器 183 jC%I]#!n 8.33 宽带通滤波器 184 h>?OWI 8.34 诱导透射滤波器 186 , fn=%tiUk 8.35 诱导透射滤波器2 188 }{J8U2])k 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 oLoa71Q} 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 g,nE iL 8.35 增益平坦滤波器 193 ~4 ab\hq 8.38 啁啾反射镜 1 196 lRb)Tz6SE 8.39 啁啾反射镜2 198 mf#oa~_ 8.40 啁啾反射镜3 199 rH,N.H#] 8.41 带保护层的铝膜层 200 ^E^: =Q?'_ 8.42 增加铝反射率膜 201 <>TBM^ 8.43 参考文献 202 4.TG&IQ
nN 9 多层膜 204 Er)b( Kk 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 syF/jWM5 9.2 内部透过率 204 {$^|^n5j 9.3 内部透射率数据 205 %~~Q XH\ 9.4 实例 206 P;34Rd 9.5 实例2 210 gK /K Z8 9.6 圆锥和带宽计算 212 `F#KXk 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 E2MpMR 10 光学薄膜的颜色 216 -84Z8?_ 10.1 导言 216 ?jbam!A 10.2 色彩 216 eR
CGr?e4 10.3 主波长和纯度 220 /Q-!><riD 10.4 色相和纯度 221 <9"i_d% 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 2k_Bo~. 10.6 色差 226 >:=TS"}yS} 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 0Ko,S(M_ 10.8 颜色渲染指数 234 ?k#%AM 10.9 色差计算 235 J0IK=Y 10.10 参考文献 236 hY!G>d{J 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 dn Xc- < 11.1 短脉冲 238 aozk,{9- 11.2 群速度 239 (&S v$L@ 11.3 群速度色散 241 kQ + 11.4 啁啾(chirped) 245 4[?Q*f! 11.5 光学薄膜—相变 245 Vr'Z5F*@ 11.6 群延迟和延迟色散 246 N|DY)W 11.7 色度色散 246 ;$Y?j8g 11.8 色散补偿 249 (H$eXW7 11.9 空间光线偏移 256 vI-KH:r"{ 11.10 参考文献 258 W6pS.} 12 公差与误差 260 aD4ln]sFxG 12.1 蒙特卡罗模型 260 -Je+7#P1 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ]n+:lsiV 12.2.1 误差工具 267 *)`:Nm~y 12.2.2 灵敏度工具 271 ]n{2cPx5d 12.2.2.1 独立灵敏度 271 8]O|$8'" 12.2.2.2 灵敏度分布 275 z#y<QH 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 1||e!W 12.3 参考文献 276 &5B+8> 13 Runsheet 与Simulator 277 7
ir T6O<. 13.1 原理介绍 277 1xw},y6T2 13.2 截止滤光片设计 277 1yhx)m;f 14 光学常数提取 289 o` e~1 14.1 介绍 289 m'pihFR:f 14.2 电介质薄膜 289 &rn,[w_F[ 14.3 n 和k 的提取工具 295 q+K`+& @\ 14.4 基底的参数提取 302 5+U~ZW0|+ 14.5 金属的参数提取 306 IflpM ] 14.6 不正确的模型 306 `]%{0 Rx 14.7 参考文献 311 dWI\VS 9 15 反演工程 313 +G?3j ,a\ 15.1 随机性和系统性 313 .N%$I6w 15.2 常见的系统性问题 314 cJt#8P
15.3 单层膜 314 r@_;L> 15.4 多层膜 314 m_pK'jc 15.5 含义 319 B$\5=[U 15.6 反演工程实例 319 !l'Zar 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 C. Sb4i* 15.6.2 反演工程提取折射率 327 8}U/fQ~ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 7B'0(70 16.1 光学性质的热致偏移 329 }RD,JgmV 16.2 应力工具 335 R)#"Ab Z' 16.3 均匀性误差 339 S`NH6?/uH 16.3.1 圆锥工具 339 5vS'Qhc 16.3.2 波前问题 341 !XK p_v 16.4 参考文献 343 =14p Ee 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 3mx7[Q 17.1 引言 345 FCg,p2 17.2 操作数 345 y_\d[ 18 如何在Function中编写脚本 351 5bgx;z9 18.1 简介 351 n|(Y?`( 18.2 什么是脚本? 351 _3)~{dQ+ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 A>X#[qx 18.4 基础 352 towQoqv 18.4.1 Classes(类别) 352 M,l
Ib9 18.4.2 对象 352 jML}{>Gy8S 18.4.3 信息(Messages) 352 '06[@Cw 18.4.4 属性 352 0n5N-b?G-@ 18.4.5 方法 353 hGPjH=^EM 18.4.6 变量声明 353 ](^xA` 18.5 创建对象 354 r|
YuHm 18.5.1 创建对象函数 355 f}o`3v*z 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 k+_pj k 18.5.3 丢弃对象 356 :g][99 18.5.4 总结 356 q'PA2a: 18.6 脚本中的表格 357 vh((HS-) 18.6.1 方法1 357 nL\BB& 18.6.2 方法2 357 ).xQ~A\. 18.7 2D Plots in Scripts 358 KpSHf9!&[ 18.8 3D Plots in Scripts 359 'DVPx%p 18.9 注释 360 !sUo+Y 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ^ng?+X>mP 18.11 一个更高级的脚本 362 $LKniK 18.12 <esc>键 364 + -U7ogs 18.13 包含文件 365 =T!M` 18.14 脚本被优化调用 366 P.LMu 18.15 脚本中的对话框 368 ao Y"uT+ 18.15.1 介绍 368 0&Zm3(} 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ]Rz]"JZ\S 18.15.3 输入框函数 370 $n!saPpxS 18.15.4 自定义对话框 371 _8kZ>w( L 18.15.5 对话框编辑器 371 GBN^ *I 18.15.6 控制对话框 377 1H%LUA 18.15.7 更高级的对话框 380 Fj|C+;Q. 18.16 Types语句 384 7)z^*;x 18.17 打开文件 385 EZao\,t 18.18 Bags 387 jeC3}BL} 18.13 进一步研究 388 CsXIq.9 19 vStack 389 {Dqf.w>t 19.1 vStack基本原理 389 8IbHDDS 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 IrJCZsk 19.3 五棱镜 393 G,%R`Xns 19.4 光束距离 396 8h}o5B 19.5 误差 399 1%t9ic 19.6 二向分色棱镜 399 EC|t4u3 19.7 偏振泄漏 404 u1(`^^Ml 19.8 波前误差—相位 405 (m25ZhW 19.9 其它计算参数 405 !Mceg 20 报表生成器 406 le`fRq8f& 20.1 入门 406 ^ola5w D 20.2 指令(Instructions) 406 dk# LAm0< 20.3 页面布局指令 406 Az{Z=:(0 20.4 常见的参数图和三维图 407 V~ %!-7? 20.5 表格中的常见参数 408 {|bf` 20.6 迭代指令 408 LDx1@a|83 20.7 报表模版 408 D!+d]A[r 20.8 开始设计一个报表模版 409 .9PPWY;H 21 一个新的project 413
I4,C-D 21.1 创建一个新Job 414 k9xfv@v} 21.2 默认设计 415 ZXh6Se4o 21.3 薄膜设计 416 ]^$3S 21.4 误差的灵敏度计算 420 p~6/ 21.5 显色指数计算 422 iG^o@*}a 21.6 电场分布 424 Z~[ c65Nlu 后记 426 Qk*`9 QJ\
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