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ZnQpKg 内容简介 Zk((VZ(y Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 I9qFXvqL 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 "Zh,;)hS 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ]tN)HRk1 O-
QT+] 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 @Kz,TP!%A 目录 Pz{MYw Preface 1 v:QUwW 内容简介 2 ;mQ|+|F6X 目录 i i0K 2#}=^ 1 引言 1 z+7V}aPM 2 光学薄膜基础 2 |ymW0gh7o$ 2.1 一般规则 2 oo\^}jb 2.2 正交入射规则 3 S',h*e 2.3 斜入射规则 6 Os'E7;:1h 2.4 精确计算 7 iYgVSVNg 2.5 相干性 8 :rQDA=Ps 2.6 参考文献 10 C/Tk`C& 3 Essential Macleod的快速预览 10 Lw,}wM5X 4 Essential Macleod的特点 32 [mu8V+8@d4 4.1 容量和局限性 33 JCnHEH 4.2 程序在哪里? 33 <q!HY~"V 4.3 数据文件 35 7HH@7vpJ^ 4.4 设计规则 35 @I?,!3`jS 4.5 材料数据库和资料库 37 zPp22 4.5.1材料损失 38 fc@<' -VA 4.5.1材料数据库和导入材料 39 J FnE{ 4.5.2 材料库 41 Q4-d| 4.5.3导出材料数据 43 En9J7es_ 4.6 常用单位 43 y EfAa6 4.7 插值和外推法 46 3WF]%P%
4.8 材料数据的平滑 50 y,`n9[$K\ 4.9 更多光学常数模型 54 #~nXAs]Q 4.10 文档的一般编辑规则 55 Ve%ua]qA 4.11 撤销和重做 56 ~Ze!F" 4.12 设计文档 57 yZ,pH1 4.10.1 公式 58 S8dfe~ |7: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 .8^mA1fmX 4.10.3 沉积密度 59 J{dO0!7y 4.10.4 平行和楔形介质 60 ]sb?lAxh{ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 .:}<4;Qz94 4.10.4 性能 61 c=\ _[G( 4.10.5 保存设计和性能 64 }Y.YJXum 4.10.6 默认设计 64 w/o^OjwQ 4.11 图表 64 xbhHP2F| 4.11.1 合并曲线图 67 sx=1pnP9` 4.11.2 自适应绘制 68 `oikSx$vB. 4.11.3 动态绘图 68 VVch% 4.11.4 3D绘图 69 #BP0MY& 4.12 导入和导出 73 vw!7f|Pg ~ 4.12.1 剪贴板 73 6
:3Id 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 \-]Jm[]^ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Al*=%nY 4.13 背景 77 J' P:SC1 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 "r@#3T$ 4.15 生成Rugate 84 fDns r"T 4.16 参考文献 91 ~3j+hN8< 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 5A`>3w{3n 5.1 Jobs 92 [>?|wQy >= 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ^2Cqy%x- 5.3 输入材料 94 W?zj^y[w 5.4 设计数据文件夹 95 :2c(.-[` 5.5 默认设计 95 6Zn[l,\ 6 细化和合成 97 cI8\d 4/py 6.1 优化介绍 97 8Gy]nD 6.2 细化 (Refinement) 98 P?>:YY53 6.3 合成 (Synthesis) 100 0qFO+nC 6.4 目标和评价函数 101 Ne|CWUhO 6.4.1 目标输入 102 A]0R?N9wb_ 6.4.2 目标 103 Zj]tiN f\" 6.4.3 特殊的评价函数 104 u3 LoP_| 6.5 层锁定和连接 104 `;}qjm0a 6.6 细化技术 104 k8stXW-w 6.6.1 单纯形 105 VO:
6.6.1.1 单纯形参数 106 o'$- 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 -FZNk} 6.6.2.1 Optimac参数 108 /'DAB** 6.6.3 模拟退火算法 109 h='&^1 6.6.3.1 模拟退火参数 109 &&<l}E 6.6.4 共轭梯度 111 3n7>qZ.d 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 0N!rIz 6.6.5 拟牛顿法 112 &?QKWxN 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :^?-bppYW 6.6.6 针合成 113 h~sTi 6.6.6.1 针合成参数 114 -V2`[k 6.6.7 差分进化 114 {wSz >, 6.6.8非局部细化 115 9s5s;ntz" 6.6.8.1非局部细化参数 115 8~,zv_Pl 6.7 我应该使用哪种技术? 116 j07A>G-= 6.7.1 细化 116 <Ffru?o4j 6.7.2 合成 117 >?JUGXAi'{ 6.8 参考文献 117 C3=0st$ 7 导纳图及其他工具 118 8SroA$^n 7.1 简介 118 ] rqx><!
7.2 薄膜作为导纳的变换 118 mm#UaEp 7.2.1 四分之一波长规则 119 XLiwE$:t% 7.2.2 导纳图 120 s7}-j2riq 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 mvpcRe
< 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 )Az0.} 7.5 斜入射导纳图 141 $HOe){G 7.6 对称周期 141 @Zhd/=2[ 7.7 参考文献 142 v\9f 8|K 8 典型的镀膜实例 143 ~FAk4z=Ed 8.1 单层抗反射薄膜 145 GE]
QRKf 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 a6:hH@, 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 #G(ivRo 8.4 W-膜层 148 vAG|Y'aO@% 8.5 V-膜层 149 'tMD=MH 8.6 V-膜层高折射基底 150 'e<8j 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 fS'` 9 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 W+GBSl 8.9 四层抗反射薄膜 153 %b_0l<+
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 2H8\P+ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;=P!fvHk 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 9k9}57m.i 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 '?I3&lYz{ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }vP(SF6 8.15十五层宽带抗反射膜 159 H^o_B1 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 #t Pc<p6m 8.17 1/4波长堆栈 162 FnOahLS 8.18 陷波滤波器 163 6,1oLvU 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 x3 ( _fS 8.20 褶皱 165 wLI1qoDM 8.21 消偏振分光器1 169 2Gj)fMK38 8.22 消偏振分光器2 171 QS4~":D/C 8.23 消偏振立体分光器 172 h4ntjk|{i7 8.24 消偏振截止滤光片 173 ;c|_z 9+ 8.25 立体偏振分束器1 174 (ruMOKW 8.26 立方偏振分束器2 177 o+k*ia~Fa 8.27 相位延迟器 178 ~A%+oa*2~ 8.28 红外截止器 179 W%&s$b( 8.29 21层长波带通滤波器 180 >ZgV8X: 8.30 49层长波带通滤波器 181 7&jq = 8.31 55层短波带通滤波器 182 !YO'u'4<aK 8.32 47 红外截止器 183 PD^ 6Ywn>s 8.33 宽带通滤波器 184 6e.l#
c!1} 8.34 诱导透射滤波器 186 /VEK<.,aMv 8.35 诱导透射滤波器2 188 `{IL.9M!f 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 >^,?0HP 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ;U a48pSv 8.35 增益平坦滤波器 193 ]M "U 'Z 8.38 啁啾反射镜 1 196 5mL4Zq" 8.39 啁啾反射镜2 198 L"c.15\ 8.40 啁啾反射镜3 199 fV6ddh 8.41 带保护层的铝膜层 200 BVus3Y5IJQ 8.42 增加铝反射率膜 201 ~-sG&u> 8.43 参考文献 202 p,(W?.ZDN? 9 多层膜 204 64"DT3: 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 5L7nEia' 9.2 内部透过率 204 Ks^wX 9.3 内部透射率数据 205 g&.OJ 9.4 实例 206 !lZ}kz0 9.5 实例2 210
noB8*n0 9.6 圆锥和带宽计算 212 B=r+
m;( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ,|#biT-<T 10 光学薄膜的颜色 216 |RXXj [z 10.1 导言 216 $Dv5TUKw 10.2 色彩 216 5w~J"P6jg 10.3 主波长和纯度 220 8090+ (U 10.4 色相和纯度 221 ^,f^YL; 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 _T805<aUW\ 10.6 色差 226 ~`$P-^u88X 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 WD kE
5 10.8 颜色渲染指数 234 s`v$r,N0 10.9 色差计算 235 x.Ny@l%] 10.10 参考文献 236 pP"j| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 QWt3KW8) 11.1 短脉冲 238 kPA g* 11.2 群速度 239 O^ &m 11.3 群速度色散 241 k`z]l;: 11.4 啁啾(chirped) 245 @li/Y6Wh 11.5 光学薄膜—相变 245 $i!r> .Jo 11.6 群延迟和延迟色散 246 f?16%Rk< 11.7 色度色散 246 f1U8 b*F< 11.8 色散补偿 249 Ff
=%eg] 11.9 空间光线偏移 256 v<(+ l)Ln 11.10 参考文献 258 VH+3o?nrT 12 公差与误差 260 b53s@7/mq 12.1 蒙特卡罗模型 260 w~=xO_% 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 |S<!'rY 12.2.1 误差工具 267 U(OkTJxv+ 12.2.2 灵敏度工具 271 bkpN`+c 12.2.2.1 独立灵敏度 271 g "c7$ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 n`jG[{3t& 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 NweGK 12.3 参考文献 276 LZ&I<ID`- 13 Runsheet 与Simulator 277 ug"4P.wI 13.1 原理介绍 277 /3sX>Rj 13.2 截止滤光片设计 277 s%~Nx3, 14 光学常数提取 289 XVo+ <& 14.1 介绍 289 6iHY{WcDj 14.2 电介质薄膜 289 )1GJ^h$l 14.3 n 和k 的提取工具 295 {F\P3-ub 14.4 基底的参数提取 302 hl)jE
06 14.5 金属的参数提取 306 bcxR7<T,"9 14.6 不正确的模型 306 ;nAx@_ab^ 14.7 参考文献 311 uz20pun4B 15 反演工程 313 T#I}w\XlhP 15.1 随机性和系统性 313 <y7Hy&&y- 15.2 常见的系统性问题 314 [
`_sH\ 15.3 单层膜 314 376z~ 15.4 多层膜 314 b=Ektq 15.5 含义 319 %503<j 15.6 反演工程实例 319 [T/S/@IT 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 7Xh @%[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 <QaUq`, 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 &h7
n>q 16.1 光学性质的热致偏移 329 cbzS7q<) 16.2 应力工具 335 8$IUit h 16.3 均匀性误差 339 O CCC' k 16.3.1 圆锥工具 339 Es\J%*\u 16.3.2 波前问题 341 jzWgyI1b 16.4 参考文献 343 J{XRltI+ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 T@zp'6\H
17.1 引言 345 8f%OPcr& 17.2 操作数 345 t!B,%,Dp 18 如何在Function中编写脚本 351 v5?ct?q 18.1 简介 351 _,e4?grP# 18.2 什么是脚本? 351 K_.|FEV 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 o>&pj 18.4 基础 352 g1l:k1\Ht 18.4.1 Classes(类别) 352 Z^WI~B0nt 18.4.2 对象 352 } ,Dk6w$ 18.4.3 信息(Messages) 352 mGmZ}H'{ 18.4.4 属性 352 {FILt3f; 18.4.5 方法 353 V;Ln|._/t 18.4.6 变量声明 353 f3.oc9G 18.5 创建对象 354
CalWJ 18.5.1 创建对象函数 355 Q?`s4P)14o 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Bw[#,_ 18.5.3 丢弃对象 356 N\?__WlBK7 18.5.4 总结 356 txX>zR*)
18.6 脚本中的表格 357 k!6m'}v 18.6.1 方法1 357 i`iR7UmHeR 18.6.2 方法2 357 [I<J6= 18.7 2D Plots in Scripts 358 W58%Zz4a 18.8 3D Plots in Scripts 359 WK#%G 18.9 注释 360 @2_E9{ T 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 <KoOJMx( 18.11 一个更高级的脚本 362 rx<P#y]3) 18.12 <esc>键 364 :n%& 18.13 包含文件 365 Vk[M .=J 18.14 脚本被优化调用 366 <R_)[{ 7 18.15 脚本中的对话框 368 0[7"Lhpd 18.15.1 介绍 368 M}=>~TA@ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ''z]o#=^9 18.15.3 输入框函数 370 RfCu5Kn 18.15.4 自定义对话框 371 2)QZYgfh 18.15.5 对话框编辑器 371 yGX5\PSo 18.15.6 控制对话框 377 hb}Qt Q 18.15.7 更高级的对话框 380 #hXvGon$? 18.16 Types语句 384 53bVhPGv 18.17 打开文件 385 axN\ZXU 18.18 Bags 387 l$R9c+L= 18.13 进一步研究 388 OcC|7s", 19 vStack 389 [O]rf+NZ(5 19.1 vStack基本原理 389 w:=:D=xH2 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ETdN<}m 19.3 五棱镜 393 zzd PR}VG 19.4 光束距离 396 WH Ul.h 19.5 误差 399 O+=}x]q*y 19.6 二向分色棱镜 399 7(|f@Y~* 19.7 偏振泄漏 404 \
*g3j 19.8 波前误差—相位 405 J5xZLv 19.9 其它计算参数 405 ^^a%Lz)U 20 报表生成器 406 VG50n<m9 20.1 入门 406 3hA5"G+7 20.2 指令(Instructions) 406 )YwLj&e4tf 20.3 页面布局指令 406 Tv~Ho&LS 20.4 常见的参数图和三维图 407 <l eE.hhf. 20.5 表格中的常见参数 408 L2%D$!9 20.6 迭代指令 408 \,lIPA/L 20.7 报表模版 408 K\mFb 20.8 开始设计一个报表模版 409 q:vGG K^ 21 一个新的project 413 4|4[3Ye7u: 21.1 创建一个新Job 414 4.~ <|T8 21.2 默认设计 415 HJlxpX$_ 21.3 薄膜设计 416 t=jG $A 21.4 误差的灵敏度计算 420 nD!t*P 21.5 显色指数计算 422 <$K7f 21.6 电场分布 424 38:5g_ 后记 426 ~I~lb/ 更多详情,可以扫码加微! b"OH Xu
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