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P0k|33;7L 内容简介 }g5h"N\$o Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 V,*YM 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 k]ptk^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 L8/o9N1 Pm%ZzU 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ZTMzL%i 目录 |Tf}8e Preface 1 kHm1aE< 内容简介 2 Euk#C;uBg 目录 i Pm#B'N#*N| 1 引言 1 Y>wpla[kUq 2 光学薄膜基础 2 MU-ie*+ 2.1 一般规则 2 pj?+cy
v~ 2.2 正交入射规则 3 !ck=\3pr 2.3 斜入射规则 6 %:YON,1b=7 2.4 精确计算 7 :-ax5,J> q 2.5 相干性 8 Bx j6/a7Xd 2.6 参考文献 10 8!4=j 3 Essential Macleod的快速预览 10 -gv@
.# N 4 Essential Macleod的特点 32 AL&}WbUC 4.1 容量和局限性 33 ,#`gwtFG 4.2 程序在哪里? 33 #xm<|s 4.3 数据文件 35 :hjeltt 4.4 设计规则 35 3Ey#? 4.5 材料数据库和资料库 37 bhnm<RZ 4.5.1材料损失 38 -TjYQ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 \aU^c24> 4.5.2 材料库 41 q'hMf?_ 4.5.3导出材料数据 43 l/DV
?27 4.6 常用单位 43 0F0V JE 4.7 插值和外推法 46 WK:~2m&y 4.8 材料数据的平滑 50 f(|qE( 4.9 更多光学常数模型 54 f&7SivS# 4.10 文档的一般编辑规则 55 L7wl3zG 4.11 撤销和重做 56 ipw _AC~ 4.12 设计文档 57 @HMt}zD 4.10.1 公式 58 ]J~37 35] 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ;7K5Bo 4.10.3 沉积密度 59 F2AM/m^!q 4.10.4 平行和楔形介质 60 [o*u!2 r 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Yw\}'7 4.10.4 性能 61 gmj
a2F, 4.10.5 保存设计和性能 64 Jr% u[d> 4.10.6 默认设计 64 C!Y|k.`p 4.11 图表 64 ]Qkto4DQ5 4.11.1 合并曲线图 67 &!N5}N& 4.11.2 自适应绘制 68 818</b<yn 4.11.3 动态绘图 68 bqsb (C 4.11.4 3D绘图 69 &:S_ewJK7 4.12 导入和导出 73 1AjsAi,7;2 4.12.1 剪贴板 73 4+$<G /K 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 [I4K`>|Z 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 F,11 \j 4.13 背景 77 % 95:yyH 0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 e\%QHoi>u 4.15 生成Rugate 84 LCyci1\@ 4.16 参考文献 91 (W5E\hjJ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 DcQ^V4_ 5.1 Jobs 92 e,Gv~ae9 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Gyjx:EM 5.3 输入材料 94 2t<
dCw 5.4 设计数据文件夹 95 &A*oQ3 5.5 默认设计 95 K.*?\)& 6 细化和合成 97 GH7{_@pv8 6.1 优化介绍 97 0u,=OvU 6.2 细化 (Refinement) 98 #E{aN?_ 6.3 合成 (Synthesis) 100 2^ ^;Q: 6.4 目标和评价函数 101 &M6)-V4 6.4.1 目标输入 102 6!n"E@Bwu 6.4.2 目标 103 5caYA&R 6.4.3 特殊的评价函数 104 ]n _- 6.5 层锁定和连接 104 /JEH%) 6.6 细化技术 104 n{r+t=X 6.6.1 单纯形 105 79s6U^vv" 6.6.1.1 单纯形参数 106 lE?e1mz{
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 dsR{
P,! 6.6.2.1 Optimac参数 108 G qk"%irZ 6.6.3 模拟退火算法 109 `RthX\Tof 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ?uU0NKZA 6.6.4 共轭梯度 111 Te[[xhTyw 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ~H@':Mms.h 6.6.5 拟牛顿法 112 ,^26.p$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 {;n?c$r 6.6.6 针合成 113 ]WWre}, 6.6.6.1 针合成参数 114 hO;bnt%( 6.6.7 差分进化 114 )@]-bPnv 6.6.8非局部细化 115 i_`YZ7Hxp 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,H22;UV9 6.7 我应该使用哪种技术? 116 >h[tHM
O 6.7.1 细化 116 %b\xRt[0v7 6.7.2 合成 117 iJ?8)} 6.8 参考文献 117 7 z<!2 7 导纳图及其他工具 118 pqMvYF 7.1 简介 118 }td+F&l($V 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 4=o3ZRV 7.2.1 四分之一波长规则 119 iUS379wM} 7.2.2 导纳图 120 L9Fx
Lw41 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 By3dRiM=,2 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 4TwU0N+> 7.5 斜入射导纳图 141 )tFFa*Z' 7.6 对称周期 141 Se0/ysVB 7.7 参考文献 142 oq8~PTw 8 典型的镀膜实例 143 KS*W<_I 8.1 单层抗反射薄膜 145 `3pe\s 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Q Aygr4\X^ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 "Y(S G 8.4 W-膜层 148 Vq9hAD|k 8.5 V-膜层 149
`c :'il? 8.6 V-膜层高折射基底 150 q hK;#<# 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 LaN4%[;X1- 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 "5{Yn!-: 8.9 四层抗反射薄膜 153 Cf`UMQ a 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ;Ic3th%u 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 !PUhdW 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ei\X/Z*q%P 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 8^dGI9N
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Z]w_2- - 8.15十五层宽带抗反射膜 159 v|{*y 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 y*uL,WH 8.17 1/4波长堆栈 162 ZmmuP/~2K 8.18 陷波滤波器 163 HoRLy*nU 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 +% U@ 8.20 褶皱 165 ?ZDx9*f 8.21 消偏振分光器1 169 ,l0s(Cg 8.22 消偏振分光器2 171 Q=^}B}G 8.23 消偏振立体分光器 172 )B}]0`z:P 8.24 消偏振截止滤光片 173 uUc[s"\ 8.25 立体偏振分束器1 174 +Kf::[wP7 8.26 立方偏振分束器2 177 \GMudN 8.27 相位延迟器 178 +s[(CI.b 8.28 红外截止器 179 q8kt_&Ij 8.29 21层长波带通滤波器 180 4?%0z) g 8.30 49层长波带通滤波器 181 )s6tjlf8 8.31 55层短波带通滤波器 182 zR{TWk] 8.32 47 红外截止器 183 L"}@>&6 8.33 宽带通滤波器 184 #e8CuS 8.34 诱导透射滤波器 186 jU4Ir{f 8.35 诱导透射滤波器2 188 29av8eW?3 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 0
?2#SM 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 TzK?bbgr! 8.35 增益平坦滤波器 193 %'g/4I 8.38 啁啾反射镜 1 196 i^QcW!X& 8.39 啁啾反射镜2 198 8\I(a]kM` 8.40 啁啾反射镜3 199 )9<)mV*EB( 8.41 带保护层的铝膜层 200 l 8.42 增加铝反射率膜 201 U{ahA 8.43 参考文献 202 ~)ByARao= 9 多层膜 204 Wq,UxMz 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 pkk0?$l", 9.2 内部透过率 204 O$&p<~ 9.3 内部透射率数据 205 >Zr/U!W*? 9.4 实例 206 )%MBo.NL 9.5 实例2 210 Nm;ka&' 9.6 圆锥和带宽计算 212 JT_#>', 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 HuK'tU# 10 光学薄膜的颜色 216 *S=v1 s/ 10.1 导言 216 ~z< ? Wh 10.2 色彩 216 ]h|GaHiE 10.3 主波长和纯度 220 w\@Anwj#L 10.4 色相和纯度 221 KRXe\Sx 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 wwpvmb 10.6 色差 226 kXOlZC 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ?iia 10.8 颜色渲染指数 234 Sk1yend4 10.9 色差计算 235 q-!m|<Z 10.10 参考文献 236 \}<nXn! 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 3b[_0 11.1 短脉冲 238 xknP
`T 11.2 群速度 239 wiFckF/
11.3 群速度色散 241 L^0jyp 11.4 啁啾(chirped) 245 }2h~o~ 11.5 光学薄膜—相变 245 ZAiQofQ:2 11.6 群延迟和延迟色散 246 ^$T>3@rDB 11.7 色度色散 246 sXfx[)T< 11.8 色散补偿 249 M@gm.)d 11.9 空间光线偏移 256 a]ftE\99 11.10 参考文献 258 YHAy+S 12 公差与误差 260 S&QZ"4jq 12.1 蒙特卡罗模型 260 xUeLX`73 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 +q=/}| 12.2.1 误差工具 267 3-Ti'xM 12.2.2 灵敏度工具 271 U~T/f-CT 12.2.2.1 独立灵敏度 271 w-\GrxlbX 12.2.2.2 灵敏度分布 275 icnp^2P 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 a"ht\v}1 12.3 参考文献 276 \.*aC) 13 Runsheet 与Simulator 277 M<)HJ lr 13.1 原理介绍 277 *.i`hfRc 13.2 截止滤光片设计 277 3N<FG.6 14 光学常数提取 289 ikofJl]9 14.1 介绍 289 Q*lZ;~R 14.2 电介质薄膜 289 _$F I> 14.3 n 和k 的提取工具 295 /O&j1g@ 14.4 基底的参数提取 302 yCmiW
%L4 14.5 金属的参数提取 306 0_%u(? 14.6 不正确的模型 306 O-mP{ 14.7 参考文献 311 paiF ah 15 反演工程 313 v'DL >Y 15.1 随机性和系统性 313 0P!6
.-XU 15.2 常见的系统性问题 314 0h#' 3z< 15.3 单层膜 314 {
\Q'eL8 15.4 多层膜 314 WF:i}+g+^ 15.5 含义 319 v_oNM5w 15.6 反演工程实例 319 }9@,EEhg 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 B'&%EW] 15.6.2 反演工程提取折射率 327 W**a\[~$ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 6{1c
S 16.1 光学性质的热致偏移 329 PiM@iS 16.2 应力工具 335 4m%_#J{ 16.3 均匀性误差 339 vu1F 16.3.1 圆锥工具 339 4egq Y0A 16.3.2 波前问题 341 Z.rKV}yjY 16.4 参考文献 343 ]X{LZYk 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 _ea!psA0 17.1 引言 345 >D*L0snjV 17.2 操作数 345 e>MC
3D`5 18 如何在Function中编写脚本 351 1'Kn:I 18.1 简介 351 N0/DPZX7 18.2 什么是脚本? 351 lB3W|-Ci 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 !7Ta Vx}`( 18.4 基础 352 l*/I ;a$ 18.4.1 Classes(类别) 352 7X1T9'jI2 18.4.2 对象 352 @-)?2CH[8 18.4.3 信息(Messages) 352 \~U8<z 18.4.4 属性 352 `&j5/[>v 18.4.5 方法 353 mVW:]|!s 18.4.6 变量声明 353 rsA K0R+ 18.5 创建对象 354 g)2}`} 18.5.1 创建对象函数 355 :X/j%m* 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 `0Qzu\gRb 18.5.3 丢弃对象 356 ?r#e 18.5.4 总结 356 MyAi)Mz~o 18.6 脚本中的表格 357 WOR~tS 18.6.1 方法1 357 fY$M**/, 18.6.2 方法2 357 XkOsnI8n 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;#cb%e3 18.8 3D Plots in Scripts 359 OZs^c2
W 18.9 注释 360 xR\$2( 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
x.~Z9j 18.11 一个更高级的脚本 362 591Syyy 18.12 <esc>键 364 9:IVSD&"Rf 18.13 包含文件 365 WOG=Uy$ 18.14 脚本被优化调用 366 `/8Dmg 18.15 脚本中的对话框 368 ytKh[Uo 18.15.1 介绍 368 !A, ] 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Z$~Wr3/ 18.15.3 输入框函数 370 y2yW91B, 18.15.4 自定义对话框 371 O}"VK 18.15.5 对话框编辑器 371 YrL:!\p. 18.15.6 控制对话框 377 C/\)-^ 18.15.7 更高级的对话框 380 -]\UFR 18.16 Types语句 384 z* "zXLC 18.17 打开文件 385 fOtL6/? 18.18 Bags 387 u-$(TyDEl| 18.13 进一步研究 388 V*2uW2\} 19 vStack 389 a4Fe MCvV9 19.1 vStack基本原理 389 I_oJx 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 8lg$] 19.3 五棱镜 393 g
VplBF7{ 19.4 光束距离 396 NVAt-u0LB 19.5 误差 399 c-(,%0G0 19.6 二向分色棱镜 399 *?VbN}g2 19.7 偏振泄漏 404 )xy1DA 19.8 波前误差—相位 405 kG^DHEne 19.9 其它计算参数 405 nm_]2z O 20 报表生成器 406 ,|<2wn#q 20.1 入门 406 K?8{y 20.2 指令(Instructions) 406 ryg1o=1v/ 20.3 页面布局指令 406 yF8 av=<{ 20.4 常见的参数图和三维图 407 QX1QYwcm G 20.5 表格中的常见参数 408 Zui2O-L?V 20.6 迭代指令 408 N0,wT6. 20.7 报表模版 408 [#.E=s+& 20.8 开始设计一个报表模版 409 oJA%t-&%R 21 一个新的project 413 <Wn={1Ts" 21.1 创建一个新Job 414 E LZCrh6* 21.2 默认设计 415 FctqE/>}I 21.3 薄膜设计 416 y-w=4_W 21.4 误差的灵敏度计算 420 GsA/pXx 21.5 显色指数计算 422 $6kVhE!; 21.6 电场分布 424 ^mz&L|h 后记 426 WwG78b-OA 此书是精装版硬壳封面和封底,另外也是Macleod先生,生前的最后一本书,同时也非常具有收藏价值,感兴趣的加我微信购买 xDD3Y{K
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