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Wr3mQU 内容简介 JNa"8 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 !>e5z|1 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ghX|3lI\q 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 I]Dl / LjUy*mxw 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 aP8H`^DFX> 目录 K,boVFs Preface 1 (
|PAx( 内容简介 2 l-s!A(l 目录 i E gal4 1 引言 1 ?kZTI ( 2 光学薄膜基础 2 sZL#xZ5
Df 2.1 一般规则 2 I*IhwJFl/ 2.2 正交入射规则 3 1}:bqI.<W 2.3 斜入射规则 6 nM-h&na{s 2.4 精确计算 7 Ju3*lk/j- 2.5 相干性 8 PG_0\'X)/w 2.6 参考文献 10 -R%<.]fJ 3 Essential Macleod的快速预览 10 ]Qfn(u=o 4 Essential Macleod的特点 32 &znQ;NH# 4.1 容量和局限性 33 z[cyA. 4.2 程序在哪里? 33 f"9q^ 4.3 数据文件 35 \z$p%4`E@ 4.4 设计规则 35 ;IVDr: 4.5 材料数据库和资料库 37 $T`<Qq-r 4.5.1材料损失 38 ewfP G,S 4.5.1材料数据库和导入材料 39 N^pJS6cJkl 4.5.2 材料库 41 9P~\Mpk 4.5.3导出材料数据 43 >OG:vw)E 4.6 常用单位 43 q&Gz ] 4.7 插值和外推法 46 0qo)."V{ 4.8 材料数据的平滑 50 {iv<w8CU) 4.9 更多光学常数模型 54 $`wMX{ 4.10 文档的一般编辑规则 55 1 29q`u; 4.11 撤销和重做 56 2Ri{bWi 4.12 设计文档 57 H]$)Eg%6 4.10.1 公式 58 g"?Y+j 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 qnoNT%xazo 4.10.3 沉积密度 59 MH{GR)ng:9 4.10.4 平行和楔形介质 60 "v` 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 r4QxoaM 4.10.4 性能 61 UQ +?\wi* 4.10.5 保存设计和性能 64 2A\,-*pc 4.10.6 默认设计 64 e][B7wZ 4.11 图表 64 `X`2:@gQ 4.11.1 合并曲线图 67 baP^<w^ 4.11.2 自适应绘制 68 ]6{*^4kX 4.11.3 动态绘图 68 )*Q-.Je/U 4.11.4 3D绘图 69 |{@8m9JR 4.12 导入和导出 73 uFLx 4.12.1 剪贴板 73 66'?&Xx' 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 GD:4"$)[o 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 EloMe~a3 4.13 背景 77 :{ur{m5bX 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 TzntO9P+ 4.15 生成Rugate 84 H.WE6 4.16 参考文献 91 .%^]9/4 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 K"0PTWt 5.1 Jobs 92 a?6ab+7# 5.2 创建一个新Job(工作) 93 [ e8x&{L-_ 5.3 输入材料 94 \igmv]G% 5.4 设计数据文件夹 95 gt ";2,;X 5.5 默认设计 95 *0}3t<5 6 细化和合成 97 Cxcr/9 6.1 优化介绍 97 KMV=%o 6.2 细化 (Refinement) 98 ]a!xUg!S 6.3 合成 (Synthesis) 100 \|U l]1pO8 6.4 目标和评价函数 101 24/XNSE,- 6.4.1 目标输入 102 fnNYX]_bk 6.4.2 目标 103 IZm(`b;t^ 6.4.3 特殊的评价函数 104 8> .J1C 6.5 层锁定和连接 104 \oEo~ 6.6 细化技术 104 :UbM ! 6.6.1 单纯形 105 @0eHS+ 6.6.1.1 单纯形参数 106 b.@P%`@a. 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 1=nUW": 6.6.2.1 Optimac参数 108 rC7``#5 6.6.3 模拟退火算法 109 TeWMp6u,r 6.6.3.1 模拟退火参数 109 (^5 7UmFv] 6.6.4 共轭梯度 111 fsEzpUY:{W 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 \y88d4zX 6.6.5 拟牛顿法 112 <d<mvXbw_@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 e{A9r@p! 6.6.6 针合成 113 g
>'p>}t 6.6.6.1 针合成参数 114 [Cb`{ 6.6.7 差分进化 114 90#
;?# 6.6.8非局部细化 115 {w8 NN-n 6.6.8.1非局部细化参数 115 'Vr$MaO 6.7 我应该使用哪种技术? 116 d7&eLLx 6.7.1 细化 116 GCttXAto 6.7.2 合成 117 "ywh9cp 6.8 参考文献 117 +hRmO 7 导纳图及其他工具 118 tdEnk.O 7.1 简介 118 &I({T`= 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 x%< 7.2.1 四分之一波长规则 119 2iU7 0(H 7.2.2 导纳图 120 e }*0ghKI 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Lqp8yVO 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 4_D@ST% 7.5 斜入射导纳图 141 y')RT R{>M 7.6 对称周期 141 `Bw9O%]-S 7.7 参考文献 142 k78Vh$AA6% 8 典型的镀膜实例 143 8$c bVMjh 8.1 单层抗反射薄膜 145 `T2$4 >! 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 a|BcnYN 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 =X!IHd0 8.4 W-膜层 148 @<@SMK) 8.5 V-膜层 149 lg}HGG 8.6 V-膜层高折射基底 150 #-"VS-.< 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 tj*y)28- 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 `$604+G 8.9 四层抗反射薄膜 153 ;+I/ I9~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 m3^/:< 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ;D.h65rr 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 u0RS)&
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 H2r8,|XL 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 *<'M!iRC 8.15十五层宽带抗反射膜 159 QJW`}`R 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 SMf+qiM-E 8.17 1/4波长堆栈 162 vZ#!uU^a: 8.18 陷波滤波器 163 Y=*P
8pg 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 f&x0@Q/eON 8.20 褶皱 165 o:Zd1"Z 8.21 消偏振分光器1 169 m7%C#+67 8.22 消偏振分光器2 171 f{lZKfrp 8.23 消偏振立体分光器 172 *RR[H6B^]X 8.24 消偏振截止滤光片 173 b}G24{ 8.25 立体偏振分束器1 174 Zw]
?. 8.26 立方偏振分束器2 177 %vO<9fE|1 8.27 相位延迟器 178 ;U`X 6d 8.28 红外截止器 179 nd{R
9B 8.29 21层长波带通滤波器 180 aj~bt-cE 8.30 49层长波带通滤波器 181 ^# A.@ 8.31 55层短波带通滤波器 182 nPkZHIxuD 8.32 47 红外截止器 183 tVqmn 8.33 宽带通滤波器 184 {^Pq\h; 8.34 诱导透射滤波器 186 . -"E^f 8.35 诱导透射滤波器2 188 O}#yijU3e 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 nN3$\gHp8i 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 O4No0xeWo 8.35 增益平坦滤波器 193 IC{F.2D 8.38 啁啾反射镜 1 196 ,}C8;/V 8.39 啁啾反射镜2 198 vtMJ@!MN; 8.40 啁啾反射镜3 199 }'=h4yI 8.41 带保护层的铝膜层 200 Ae?e 70bY 8.42 增加铝反射率膜 201 S*)o)34U 8.43 参考文献 202 WjM>kWv 9 多层膜 204 yu
,h\ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 HXJ9xkrr 9.2 内部透过率 204 f]d!hz! 9.3 内部透射率数据 205 !Zbesp KZ 9.4 实例 206 d
`j?7Z 9.5 实例2 210 );
6,H.v 9.6 圆锥和带宽计算 212 _1jw=5^P\i 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 8,o17}NY, 10 光学薄膜的颜色 216 {@r*+~C3 10.1 导言 216 EX?h0Uy 10.2 色彩 216 V+w u 10.3 主波长和纯度 220 }#= Od e 10.4 色相和纯度 221 16@);Ot 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 HPa|uDVv 10.6 色差 226 9b6!CNe! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 [BBpQN.^q6 10.8 颜色渲染指数 234 $Kq<W{H3ut 10.9 色差计算 235 ,.g}W~S) 10.10 参考文献 236 Q-zdJt 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 >$F:*lO 11.1 短脉冲 238 M^H90GN)X 11.2 群速度 239 E' %lxr 11.3 群速度色散 241 ,w&:_n 11.4 啁啾(chirped) 245 =s'7$D}0. 11.5 光学薄膜—相变 245 w{'2q^>6* 11.6 群延迟和延迟色散 246 v3JPE])/ 11.7 色度色散 246 ^t78jfl 11.8 色散补偿 249 ma9ADFFT 11.9 空间光线偏移 256 =ef1XQ{i* 11.10 参考文献 258 9NWloK6bT 12 公差与误差 260 Q-R}qy5y 12.1 蒙特卡罗模型 260 i=8UBryr'e 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Ko}2%4on 12.2.1 误差工具 267 u3Do~RyL[ 12.2.2 灵敏度工具 271 yL"i
12.2.2.1 独立灵敏度 271 j??tmo 12.2.2.2 灵敏度分布 275 m.V,I}J.q 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 g 2'x#%ET 12.3 参考文献 276
A1Q
+0 13 Runsheet 与Simulator 277 aqfL0Rg+` 13.1 原理介绍 277 xeB4r/6 13.2 截止滤光片设计 277 }
gkP 14 光学常数提取 289 ogeRYq,g 14.1 介绍 289 (/fT]6( 14.2 电介质薄膜 289 +t>XxYScx 14.3 n 和k 的提取工具 295 0VIZ=-e 14.4 基底的参数提取 302 79z)C35~ 14.5 金属的参数提取 306 l^,qO3ES 14.6 不正确的模型 306 {NeWdC
14.7 参考文献 311 a`38db(z 15 反演工程 313 @xJCn}`Zj 15.1 随机性和系统性 313 zKJ.Tj W 15.2 常见的系统性问题 314 6{7 3p@ 15.3 单层膜 314 gUGOHd(A 15.4 多层膜 314 QUPf*3Oy 15.5 含义 319 !~d'{sy6 15.6 反演工程实例 319 E{gv,cUM 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 {{E jMBg{ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 3G&0Ciet 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ]-KV0H 16.1 光学性质的热致偏移 329 966<I56+ 16.2 应力工具 335 +\U]p_Fo3 16.3 均匀性误差 339 V5Xi '= 16.3.1 圆锥工具 339 )]A9~H 16.3.2 波前问题 341 N<"`ShCNM 16.4 参考文献 343 o4'Wr 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 #7\b\~5 17.1 引言 345 od(:Y(4 17.2 操作数 345 <p)Z/ 18 如何在Function中编写脚本 351 g 9|qbKQ:[ 18.1 简介 351 !^1[ s@1 18.2 什么是脚本? 351
{WKOJG+. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 H%cp^G 18.4 基础 352 (s Jq;Z 18.4.1 Classes(类别) 352 vu ?3$ 18.4.2 对象 352 *) }
:l 18.4.3 信息(Messages) 352 C{)HlOW 18.4.4 属性 352 vQy$[D* 18.4.5 方法 353 3XGB+$]C 18.4.6 变量声明 353 r!~(R+,c 18.5 创建对象 354 Lb^(E- 18.5.1 创建对象函数 355 mw Z'=H 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 [NZ-WU&&LP 18.5.3 丢弃对象 356 a!?.F_T9A 18.5.4 总结 356
Db,= 2e 18.6 脚本中的表格 357 ]DU61Z"v?b 18.6.1 方法1 357 t5n2eOy~T 18.6.2 方法2 357 b^%?S8]h 18.7 2D Plots in Scripts 358 +/w(K, 18.8 3D Plots in Scripts 359 <g*.p@o 18.9 注释 360 _l<|1nH 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ;n`
$+g:> 18.11 一个更高级的脚本 362 IJldN6&\q 18.12 <esc>键 364 cP,;Qbe 18.13 包含文件 365 ,b:n1 18.14 脚本被优化调用 366 ^IYJEqK 18.15 脚本中的对话框 368 s><IykIi 18.15.1 介绍 368 /<6ywLD 18.15.2 消息框-MsgBox 368 K`~BL=KI 18.15.3 输入框函数 370 ]u;GNz}? 18.15.4 自定义对话框 371 w/O<.8+ 18.15.5 对话框编辑器 371 'xsbm^n6a& 18.15.6 控制对话框 377 tnN'V 18.15.7 更高级的对话框 380 t18UDR{ 18.16 Types语句 384 ,;7`{Nab 18.17 打开文件 385 C(xqvK~p 18.18 Bags 387 YN4"O> 18.13 进一步研究 388 7F=2t_2O 19 vStack 389 'xQna+ %h 19.1 vStack基本原理 389 g>UBZA4 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 'N*!>mZ<
19.3 五棱镜 393 Is<x31R 19.4 光束距离 396 ;x,+*% 19.5 误差 399 0GS{F8f~, 19.6 二向分色棱镜 399 g)X7FxS,z 19.7 偏振泄漏 404 {3.*7gnY\L 19.8 波前误差—相位 405 DL
%S(l 19.9 其它计算参数 405 NP$e-" 1 20 报表生成器 406 W^003*m~~K 20.1 入门 406 2wGF-V 20.2 指令(Instructions) 406 +g)_4fV0| 20.3 页面布局指令 406 g'KzdG`O0 20.4 常见的参数图和三维图 407 =d}gv6v2S 20.5 表格中的常见参数 408 @k_Jl>X 20.6 迭代指令 408 p(~Y"
H 20.7 报表模版 408 j.<:00< 20.8 开始设计一个报表模版 409 $Z,i|K; 21 一个新的project 413 ||yXp2 21.1 创建一个新Job 414 -)4uYK* 21.2 默认设计 415 U)u\1AV5 21.3 薄膜设计 416 dFdlB`L 21.4 误差的灵敏度计算 420 >_&~!Y.Z= 21.5 显色指数计算 422 N 9c8c 21.6 电场分布 424
T"n>h 后记 426 RP,A!pa@ 此书是精装版硬壳封面和封底,另外也是Macleod先生,生前的最后一本书,同时也非常具有收藏价值,感兴趣的加我微信购买 AGl|>f)
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