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高数值孔径物镜广泛用于光学光刻、显微镜等。因此,在聚焦模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种镜头的光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。 l}Jf;C*j1z t$R|lv5<
?%B%[u k`kmmb> 建模任务 )2u=U9 \jZvP`.2
(g4.bbEm j9%=8Dn.< 入射平面波 RLecKw&1{3 波长 2.08 nm zziuj s: 光斑直径: 3mm :] {+3A 沿x方向线偏振 EKq9m=Ua@o TfVB~"& |