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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 v6| [p Vpzjh,r-j R>1oF]w [+#k+*1*o 设计任务 ?iEn~9WCS 2
e#"JZ= SG&H^V8 G`&P|xYg 光栅光学装置 oHp"\Z& 0;,Y_61
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saJ=1U 7;C~>WlU 偏振分析器 =CS$c? 'J!Gip , p]?eIovi e6qIC*C ! 优化 B|+%ExT7
j0O1?? -*Qg^1]i+ 'O9Yu{M 参数运行 VkJTcC:1 _ Qek|>
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Z 关于光栅周期选择的考虑 qoZAZ&|HI K|6}g7&X
xdY'i0fh =,i?8Fuz 偏振相关衍射特性 PJe\PGh eI|~neh cXN0D\%` 'd;aAG 偏振相关衍射特性 V \FlKC i=M[$
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<5CQ#^cK 偏振相关衍射特性 sk0/3X*Q% gh"_,ZhZt zJ ;]z0O |8x_Av0 固定周期二维参数优化 IF//bgk- Gz8JOl /BF7N3 二维参数优化——设计#1 9c1q:>| (5[#?_~ ~{kA;uw 8
?:W{GAo 二维参数优化——设计#2 5"q{b1 ;;U&mhz` !ueh%V Ky M$f_I + 制造公差分析 I>-}ys`[ |BGzdBm^x: ]x3 )OjH ,pkzNe`F 变光栅周期三维参数优化 09G]t1!, Z vyF"4QN
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