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直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 =?])['VaA TgTnqR@/
O<jPGU ~"lJ'&J} 设计任务 h6%[q x< 'q>2t}KG
Uu"0rUzt M wab!Ya 纯相位传输的设计 .lBgp=! .6m "'m0; 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 li]
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n 使用TEA进行性能评估 H@l}[hkP QM5 .f+/ 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 aV`&L,Q)7E
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BHj\G7,S fd8!KO 使用傅里叶模态法进行性能评估 Nt:8ogk/ /%n`V 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 "PH6e bm ciMM^ZRIb
;pJ2V2 g8 RGD]8mw 进一步优化–零阶调整 m-V02's V5D2\n3A 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 _7kM]">j +m,!e*g
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=y%rG :! X6RQqen3: VirtualLab Fusion一瞥 zz_[S{v!# fT
Y/4( 6'OO-o 59rY[&| VirtualLab Fusion中的工作流程 \k.vN@K# !:fv>FEI9 • 使用IFTA设计纯相位传输 *(GZ^QH. •在多运行模式下执行IFTA 7\/5r. •设计源于传输的DOE结构 7;LO2<|1 −结构设计[用例] 2L\3S ukj •使用采样表面定义光栅 9 1P4:6 −使用接口配置光栅结构[用例] 80ZnM%/} •参数运行的配置 TSo:7&| −参数运行文档的使用[用例] VY'Q|[ jB@4b'y
)u@c3?$6 . p^xS6e{ VirtualLab Fusion技术 S7n"3.k Sl~x$9`
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