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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 nh.32q] 56}X/u =(o']ZaaA 8b(!k FxD 2. 建模任务 >IfV\w32 4aUiXyr*2
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o3 vXE0%QE'Q 3. 干涉条纹的变化 iE].&>w b:W-l?
j;0vAf sG7u}r 4. 走进VirtualLab Fusion <vV_%uoM H t(n%;<
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