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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 |&`NB| jq
yqOhb4 v!27q*;8H zPEx;lO$ 2. 建模任务 YHAhF@& G7yCGT)vQ tsVQXvo ZgQ4~s 3. 干涉条纹的变化 X<dQq`kZ JV(qTb W ,V'+16xW ;wwhW|A 4. 走进VirtualLab Fusion bO]^TRaiJ qgg/_H:;w wi^zXcVj 7nM]E_ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 [y-0w.V=oE Z
6KM%R j hf%ze iU"jV*P] 6. VirtualLab Fusion 技术 ]Q1?Ox:' C"}CD{<H]M Q%)da)0:c
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