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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 +`Pmq}ey N&m_e)E5c mX;H(( (;ADW+.`J 2. 建模任务 d@ (vg ({ k7#1
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i~=x 3. 干涉条纹的变化 ^V.'^=l dp<$Zw8BE \z:<DsQ& o(fy d)t 4. 走进VirtualLab Fusion 3[VNsX V:Mk)8Gf| d}+W"j; M4:s;@qZ. 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 l9J*um- F 7LiG9H6` hZU1O M1{(OY(G 6. VirtualLab Fusion 技术 y/tSGkMv nNQ-"t ) EXJ
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