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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 b./MVz Q^oB`)k
,4S6F HK +^|=MK% 建模任务
9Cq"Szs %d#j%= }(w9[(K 仿真干涉条纹 ~JDVoS;>jU [^\HP]*Q{ ]4)$dQ59 走进VirtualLab Fusion SG-Xgr@ OF 1Qr bj
_'U(q\ri <U2Un 0T VirtualLab Fusion中的工作流程 !sh>`AF .2QZe8" •设置输入场 D+CP?} / −基本光源模型[教程视频] =(p]L •使用导入的数据自定义表面轮廓 ~_|ZUb •定义元件的位置和方向 jmn<gJ2Of − LPD II:位置和方向[教程视频] o=I.i>c •正确设置通道以进行非序列追迹 !2]'S=Y −非序列追迹的通道设置[用例] 5>S)+p •使用参数运行检查影响/变化
Aiqn6BX{ −参数运行文档的使用[用例] 7H_*1_%ZQ unAu8k^ G[a&r OEXa^M4x
VirtualLab Fusion技术 p!H'JNG c"`CvQO64
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