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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 i|eX X)$ 8 v/H;65 FM{f{2j .5|[gBK 建模任务 zp}7p~#k^ I\l&'Q^0@ Z&
_kq| 仿真干涉条纹 Y2`sL,'h _.5{vGyxr wC1pfXa 走进VirtualLab Fusion }z`x-(V yE:y[k0E IiPX`V>RC -CvmZ:n VirtualLab Fusion中的工作流程 UqK.b}s <ToS& •设置输入场 qc8Ge\3s −基本光源模型[教程视频] Nq8ON!<< •使用导入的数据自定义表面轮廓 zMSwU]4I! •定义元件的位置和方向 &jDN6n3z − LPD II:位置和方向[教程视频] mskG2mA •正确设置通道以进行非序列追迹 I}`pY3 −非序列追迹的通道设置[用例] "N+4TfXy •使用参数运行检查影响/变化 b}!
cEJY −参数运行文档的使用[用例] 2F4<3k!& kWr1>})' K[T0);hZR Z(MZbzY7Hq VirtualLab Fusion技术 R"cQyG4 zluq2r
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