如果採用 Code V 軟體,那麼可以用 SAGF 函數計算面深(Sag)量: ?QzA;8H
SAGF(surface_num, zoom_pos, x_coord, y_coord) - Sag of the designated surface at x_coord, y_coord ] r8
hMv
li>`9qCmI
如果想知道的是某一非球面的型狀是否能由干涉儀測量,那麼 Code V 提供兩個函數: >3R%GNw
k_A. aYe
(1) 使用 Zygo 干涉儀 ]<3$Sx_{y
函數 @VFA(zoom #, surface #, height) Ave{ `YD
Surface is testable for @VFA < 1.0 Bq}p]R3X
Surface is not testable for @VFA > 1.0 Z4eu'.r-y~
gHU/yi!T
(2)使用 QED 干涉儀 KEfn$\
函數 @SSIa(surface #, zoom #, height) jI`1>>N&1
0 <= @SSIa < 0.5 - surface is readily testable ^QX3p,Y
0.5 <= @SSIa < 1 - surface is marginally testable eK
}AVz}k
@SSIa >= 1 - surface is difficult to test