切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    12
    • 2827阅读
    • 12回复

    [求助]APC充氧的作用 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线h391485168
    实习生
    发帖
    5
    光币
    10
    光券
    0
    只看该作者 10楼 发表于: 2023-06-26
    回 18844167969 的帖子
    18844167969:解决吸收，保证材料充分氧化 (2022-08-29 16:14)  xpI wrJO  
    @6d[=!9  
    解决吸收，是为了提高穿透吗？
    回复
    举报
    离线gaofei555
    实习生
    发帖
    81
    光币
    65
    光券
    0
    只看该作者 11楼 发表于: 07-05
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40)  H|D.6^  
    \;-|-8Q  
    学习了... 2 FFD%O05  
    回复
    举报
    离线renlgj
    技术员
    发帖
    199
    光币
    68
    光券
    0
    只看该作者 12楼 发表于: 07-21
    主要是氧化，防止脱氧折射率变化
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表
    12