切换到宽版

ZEMAX光学系统设计实战	Zemax光学设计从基础到实践	成像衍射光学元件设计及应用	现代光学与光子学技术
讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商	微小光学与微透镜阵列	光学设计与光学元件	计算光学带来的成像革命

12

2796阅读
12回复

[求助]APC充氧的作用 [复制链接]

上一主题下一主题

离线h391485168

发帖: 5

光币: 10

光券: 0

只看该作者 10楼发表于: 2023-06-26

回 18844167969 的帖子

18844167969:解决吸收，保证材料充分氧化 (2022-08-29 16:14) f)c~cJz<q

解决吸收，是为了提高穿透吗？

离线gaofei555

发帖: 81

光币: 65

光券: 0

只看该作者 11楼发表于: 07-05

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40) 9Rek4<5

学习了...

离线renlgj

发帖: 199

光币: 68

光券: 0

只看该作者 12楼发表于: 07-21

主要是氧化，防止脱氧折射率变化

12