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光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 CLK^ gZ '29WscU
BGqa-d G5c7:iGm/c 光栅详细说明 NWKi
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5py R~+ *not.2+ •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 N@1p]\ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 ,sDr9h/'C3 3N<&u 光栅阶次分析器设置 _D-Riu>#J a[C&e,)} •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 nem@sB;v# •可以指定各种输出选项。 l$XA5#k
•可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 XxOn3i r95zP]T
UqtHxEI%R~ f\}22}/ 常规设置 yJ/#"z=h? 8:{q8xZ=k
gX*K&*q 2k+16/T •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 Sdc*rpH"( •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 +X^4;
& LK+felL 单个阶次设置 (hf zM+2 v~5<:0dL
9#@Zz4Ww 8p=>?wG •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 "$8w.C •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 }1m_o@{3P d8:C3R 单个阶次设置 K0<yvew (,LL[&;: t!jwY /T O5;-Om
;r!\-]5$
cht 探测器标签页中的输出 ou6j*eSN =|0/Ynfe
j9xXKa5 fn1pa@P •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 :[?!\m%0 •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 Wc;+2Hl[@ 8]C1K
Zs 极坐标图中的输出 kCp)!hVQ x,1=D~L} S=O$JP79 1+^n!$ •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 v3^t/[e~: •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 %6 ]\^ M(5D'4. 极坐标图设置 RpN <= J3&Sj{ o
}vD;DSz: Gl>E[iO •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 !!+Da> •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 C BlXC7_Mi .,mM%w,^O 阶次汇集输出 IJIQ"
s 8IJ-]wHIb #=x+
[d+ •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 d*%Mv[X:< |