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    [技术]薄元近似与FMM/RCWA [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-06-13
    作为衍射光学领域广泛使用的方法，薄元近似（TEA）在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面，当衍射光栅的周期小到可以与波长相比较时，这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓（正弦和闪耀），并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析，用来比较两种方法的结果。 (=v :@\r  
    <a)B5B>  
    用于光栅建模的TEA与FMM _:hrm%^  
    .ZuRH_pI  
    Vy]y73~  
    我们同时使用TEA和FMM（也称为RCWA）来分析两种周期不同的光栅（正弦光栅和闪耀光栅），并比较了两种方法的结果。 "O{_LOJ  
    ` ZO#n  
    闪耀光栅的傅里叶模态分析 c/l%:!A  
    h28")c.pH=  
    + .Pv:7gh  
    在VirtualLab Fusion中，傅里叶模态方法（FMM）可用于光栅效率的严格分析。 >]6f!;Rt  
     
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