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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 6\)61o_1| goi.'8M|/b
cD^n}'ej 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) `h12 $ud5bT{n 建模任务 EvIL[\Dy +ex@[grsGT
oju7<b9Ez Mjq1qEi"B 单次FMM仿真结果 &^4\Rx_I %\=5,9A\
Q,Vv +T=Z!2L 参数扫描(1D) zcD&xoL\H 8Wid.o-U
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