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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ^P*+0?aFr (8GA;:G7G
_b[Pk;8}j; 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) R1:7]z0B 9:Z|Z?>? 建模任务 Z
Mf,3 8WG_4e
#@L<<Q8} R9Y{kk0M 单次FMM仿真结果 3^F1 hCB 6c[ L*1
'G3|PA7v Z^yn S 参数扫描(1D) leJ3-w{ 2 Olq`mlsK
j1dz'G}hj ;;zd/n2b 参数扫描(2D) 95-%>?4 xT8!X5; xb^M33-y mp0!S
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