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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 FuiR\"Ww m"9f(
rP4T;Clout 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) OF7hp5 OM[MRZEh G 建模任务 `-uE(qp !^%3
d <}'eBT' \Ip)Lm0 单次FMM仿真结果 Ab ,^y >BbX:
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RE;A0E_3 >}V?GK36 参数扫描(2D) ELCNf o^@"eG$, 8 ??-H0P \P.h;|u
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