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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 I|,pE**T '|l%rv 5D,.^a1 A 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) z Yw;q3" %#~((m1 建模任务 O:
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c 单次FMM仿真结果 +I t#Z3 t3PtKgP-6 Btj#EoSI_ Ve{n<{P 参数扫描(1D) dj'm, k
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