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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 won%(n,HT #}e)*( M^k~w{ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) q$>At}4 )[G5qTO 建模任务 I9k o*f GP`_R 0u-'{6 :);GeZ 单次FMM仿真结果 *.W![%Be gbQrSJs!Zh hZc$`V=R vY}/CBmg 参数扫描(1D) AGS?<6W- /R 2:Js G#3 O^,m a&wl- 参数扫描(2D) N\<M4fn u=
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