切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 梺體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 998阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5746
    光币
    22882
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 V(^aG=TaW:  
    O #  
     + bU*"5"  
    yG ,oSp|  
    建模任务 K4[X P]\jr  
    I/HcIBJ  
     s;9>YV2at  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 8=Z]?D=  
     KIeTZVu$%  
    某一位置的Talbot图样 Ne=o+ $.(  
    q"uP%TN  
     iem@ K  
       nz}} m^-j  
    某一位置的Talbot图样 5x} XiMM  
    t'.oty=  
     [JzOsi~R  
    7F;dLd'  
    不同位置的Talbot图样 itpljh  
    G8Qo]E9-/  
     @8;0p  
    "+@>!U  
    不同位置的Talbot图样 8e:\T.)M  
    uh8+Y%V p  
     }iZ>Gm '5  
    5'mpd  
    沿Z轴的强度 =ll{M{0Q]!  
    p`CVq`k  
     1/l;4~p7'  
    d ~`_;.z  
    走进VirtualLab Fusion %{sL/H_  
    TlA*~HG<Q  
     M*xt9'Yd  
    t]QGyW A]  
    VirtualLab Fusion的工作流程 { yvKUTq`  
    ,]\:]Y&?  
     构建光栅结构 '(4#He?Gd  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] `n{yls7.  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] MUeS8:q-N  
    !K~L&.\T  
     通过参数运行计算不同位置的强度 <.l$jW]  
    - 参数运行文件的使用 [用例] $d +n},[C{  
    :/1/i&a  
    [|NgrU_.  
    cfg_xrW0^  
    VirtualLab Fusion技术 :AzP3~BI  
    ?#cX_  
     qOi3`6LCV  
       82q_"y>6  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表