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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 lCX*Q{s22  
    UhI T!x  
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    建模任务 f3p)Q<H>`(  
    R)>F*GsR  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) (oUh:w.]Gw  
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    某一位置的Talbot图样 Os5Xejh`I  
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    某一位置的Talbot图样 H2cY},  
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    不同位置的Talbot图样 ]bui"-tlK  
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    沿Z轴的强度  d.)%C]W{  
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    VirtualLab Fusion的工作流程  (H*EZ  
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     构建光栅结构 >X$I:M<L  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] xV}ybRKV  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 7/UdE:~]*=  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 h%0FKi^  
    - 参数运行文件的使用 [用例] (pud`@D;[  
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    VirtualLab Fusion技术 FZi'#(y  
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