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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 {E|$8)58i  
    Ml-6OvQ7g  
     iDqoa\  
    A|{(/G2*  
    建模任务 DkDmE  
    7WzxA=*#  
     5]:U9ts#  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) +9sQZB# (  
     dioGAai'  
    某一位置的Talbot图样 [v!f<zSQK  
    G$('-3@i`w  
     @-`*m+$U6  
       'PW5ux@`<  
    某一位置的Talbot图样 W ]8 QM1$  
    ('+d.F[109  
     >uEzw4w  
    <t!W5q  
    不同位置的Talbot图样 EQSQFRk;  
    ) Hr`M B  
     ^E>3|du]O  
    '[%j@PlCX  
    不同位置的Talbot图样 B/Ws_Kv  
     uHRsFlw  
     +k R4E23:  
    +D*Z_Yh6  
    沿Z轴的强度 4Ftu  
    42ge3>  
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    <qt|d&  
    走进VirtualLab Fusion C\hM =%  
    &_8 947  
     h 'nY3GrU  
    [0("Q;Ec[j  
    VirtualLab Fusion的工作流程 |CbikE}kL  
    0jWVp- y  
     构建光栅结构 < I``&>  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] lr&a;aZp  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] gI|~|-'  
    w_VP J  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Qn2&nD%zi  
    - 参数运行文件的使用 [用例] YtLt*Ig%  
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    K3l95he  
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    VirtualLab Fusion技术 eS){1  
    Lu%b9Jk  
     ~pky@O#b  
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