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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-05-18
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 :{s%=\k {d  
    < }wAP_y  
     sV^h#g~Zb  
    @zynqh  
    建模任务 wUCDJY:,1  
    Z4AAg  
     U`9\P2D`/  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) DIqT>HHZ  
     aE\BAbD7  
    某一位置的Talbot图样 ,(0XsBL  
    y8hg8J|  
     k,R~oSA'n  
       '<D`:srV  
    某一位置的Talbot图样 to!W={S<ol  
    <,pLW~2-"  
     mu6xL QdA  
    vvsNWA  
    不同位置的Talbot图样 kE_@5t7O{  
    + %#MrNM'  
     03QEXm~|Q  
    ^s@*ISY  
    不同位置的Talbot图样 9U<)_E<y  
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     *[xNp[4EU  
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    沿Z轴的强度 `,-hG  
    sMfFm@\N  
     L.0} UXd  
    *%N7QyO`I  
    走进VirtualLab Fusion OHP3T(Q5  
    ~6:LUM  
     Kcw1uLb  
    L`\`NNQC  
    VirtualLab Fusion的工作流程 "_1-IE  
    4ljvoJ}xjr  
     构建光栅结构 {rb-DB-/5M  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] tT* W5  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] \Qi#'c$5+a  
    V"7<[u]K|  
     通过参数运行计算不同位置的强度 LN.Bd,  
    - 参数运行文件的使用 [用例] }r~v,KDb  
    {wp Mg  
    5S\][;u  
    Y*kh$E%<#  
    VirtualLab Fusion技术 Pv7f _hw  
    V|3yZ8lE  
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