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分析特定衍射级的衍射效率是光栅结构的典型建模任务。由于特征尺寸和周期较小,与使用的光波长相当,因此必须通过严格的方法计算效率。众所周知的FMM或RCWA是解决此任务的一种常用算法,在VirtualLab Fusion中也可用。这种全矢量方法的结果是复数瑞利系数,它包含每阶所需的所有场信息,从中可以获得相应的效率。VirtualLab Fusion中的光栅顺序分析器帮助我们生成并以图像方式显示复杂光栅结构(一维/二维周期)的所有信息。 <]'1Y DA A k+MREG
M&5De{LS} #OVS]Asn} 光栅规格 `c'R42SA 9k3RC}dEr gmdA1$c •为了演示光栅阶数分析器,使用了具有正弦光栅形状的一维光栅以及多层光栅。 VdF<#(X+ •操作中的层,提供高反射(HR)功能。 ?;ovh nY) •光栅参数在堆栈中设定,其通过光栅组件的编辑对话框中完成。
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1aS66TS3 ^-dhz88wV 光栅级次分析器设置 Zz^!QlF VZCCMh- \KkAU 6 •定义光栅结构后,可使用所需的光栅级次分析器计算瑞利系数和相关衍射特性。 #jT=;G7f2 •此外,各种输出选项可用于显示结果。 9 $Ud\ •这是通过分析器的编辑对话框完成的,该对话框通过双击光学设置视图中的相应元件显示。 u8b^DB#+W 'WcP+4c
+~'ap'k m 2M*84oh8P 通用设置 G&d |