[培训]从真空镀膜原理、设计到工艺 [复制链接]

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主办单位：广东省真空学会/讯技光电科技（上海）有限公司 ?V^7`3F  
协办单位：常熟黉论教育咨询有限公司（微信公众号：honglun-seminary） e@ZM&iR  
授课时间：2022 年 5 月 27 日（五）-29 日（日）共 3 天 AM 9:00-PM 16:00 pcwYgq#5  
授课地点：广州（详细地址将于开课前 2 周邮件告知或自行在黉论教育网校查阅） %8tE*3iUF  
课程费用：4800 元（包含课程材料费、开票税金、午餐费用） 3EICdC  
授课专家：讯技光电高级顾问&高级工程师 R~k`KuY@!  
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课程简介 \>- M&C  
当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时，既可以着手选用所需的基板，镀膜
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材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手，例如高反射镜不管波宽大小，开始我 @ gWd  
们一定是以四分之一波膜堆为设计基础，倘若是截止滤光片，则应以对称膜堆为设计基础。当 U*$xR<8v  
初始设计无法满足要求时，我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化，设 lnyf
Aq}w  
计好之后，即刻进行制造成功率分析，亦看膜层厚度的误差值的容许度，若是镀膜机的精密度 8$ u"92  
做不到，则要修改设计，重新分析直达合格为止。 >9dD7FH  
透明塑料基板质轻价廉，而且容易成型为非球面透镜，被广泛采用在光学系统中，如眼睛镜片、 2]]v|Z2M4  
相机透镜、手机镜头、及显示器面板，如 OLED，近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致 JN|6+.GG  
使其具有吸水性，从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、 P8,Ps+  
需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射，还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从
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这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 nJ2x;';lA  
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课程大纲 Tz,9>uN  
1. Essential Macleod 软件介绍 L!If~6oD(  
1.1 介绍软件 j,+]tHC-  
1.2 运行程序 I'BhN#GhX  
1.3 创建一个简单的设计 F`QViZ'n>#  
1.4 绘图和制表来表示性能 k_=yb^6[U  
1.5 3D 绘图-用两个变量绘图表示性能 - |g"q|  
1.6 创建一个默认设计 5o dT\>Sn  
1.7 文件位置 TB!I  
1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 4?'vP'  
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1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 _xp8*2~-  
1.10 厚度（物理厚度，光学厚度[FWOT,QWOT]，几何厚度） w31Ox1>s  
1.11 单位定义 9_?
xAJ  
1.12 软件如何进行数据插值 Z,.Hz\y1D  
1.13 可用的材料模型（Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann） ^!&6=rb  
1.14 特定设计的公式技术 E=p+z"Ui  
1.15 交互式绘图 \:WWrY8&  
2. 光学薄膜理论基础 a4__1N^Qj  
2.1 介质和波 PC#^L$cg}  
2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 IT_I.5*A2  
2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 Go)$LC0Mi  
2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 9qB0F_xl  
2.5 光学薄膜设计理论 I4X9RYB6c  
3. 理论技术 T$xBH  
3.1 参考波长与 g l4oyF|oJTH  
3.2 四分之一规则 'p&,'+x  
3.3 导纳与导纳图 GkIY2PD  
3.4 斜入射光学导纳 Hsf::K x  
3.5 对称周期 $Iwvecn?I  
4. 光学薄膜设计 ?dgyi4J?=`  
4.1 光学薄膜设计的进展 k2U*dn"9U  
4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 XVYFyza;  
4.3 光学薄膜设计技巧 }'$PYAf6  
4.4 特殊光学薄膜的设计方法 ZD
]1C~)  
4.5 Macleod 软件的设计与优化功能 "<!U  
4.5.1 优化目标设置 MEiP&=gX!  
4.5.2 优化方法（单一优化，合成优化，模拟退火法，共轭梯度法，准牛顿法，针形优化， lir=0oq<  
差分演化法） ^Co$X+  
4.5.3 膜层锁定和链接 vwU1}H  
5. 常规光学薄膜系统设计与分析 9{toPED  
5.1 减反射薄膜 TN2Ln?[xU  
5.2 分光膜 -Uwxmy+  
5.3 高反射膜 ai{>rO3 }I  
5.4 干涉截止滤光片5.5 窄带滤光片 7Q}pKq]P  
t~) P1Lof\  
5.6 负滤光片 <xOX+D  
5.7 非均匀膜与 Rugate 滤光片 /,Xl8<~#  
5.8 Vstack 薄膜设计示例 >NRppPqL  
5.9 Stack 应用范例说明 iVXt@[  
6. VR、AR 及 HUD 用光学薄膜 2?JV "O=  
6.1 背景介绍 r7m~.M+W"  
6.2 产品特性 fK J-/{|  
6.3 典型 VR 系统光学薄膜设计分析 8D='N`cN+  
6.4 典型 AR 系统光学薄膜设计分析 .-KI,IU
 
6.5 典型 HUD 系统光学薄膜设计分析 C$OVN$lL`8  
7. 防雾薄膜 ZEP?~zV\A  
7.1 自清洁效应 *GT=U(d  
7.2 超亲水薄膜 513,k$7  
7.3 超疏水薄膜 g4IF~\QRVi  
7.4 防雾薄膜的制备 Zse&{  
7.5 防雾薄膜的性能测试 a5D
|#9  
8. 材料管理 C0wtMD:G  
8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 B*(]T|ff<  
8.2 金属与介质薄膜 gq7tSkH@  
8.3 材料模型 v ,8;: sD  
8.4 介质薄膜光学常数的提取 c|&3e84U  
8.5 金属薄膜光学常数的提取 r;#"j%z  
8.6 基板光学常数的提取 mptFd  
8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 Re$h6sh  
9. 薄膜制备技术 bdg6B7%Q  
9.1 常见薄膜制备技术 x< A-Ws{^V  
9.2 光学薄膜制备流程 1/.BP  
9.3 淀积技术 ;tjOEmIiU  
9.4 工艺因素 ^4dE8Ve"@  
10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 :<QknU}dwy  
10.1 光学薄膜监控技术 {213/@,  
10.2 误差分析与监控决策 aZOn01v;!&  
10.3 Runsheet 与 Simulator 应用技巧 //R"ZE@d\  
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