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作者:美国Angus Macleod 、Christopher Clark J6[}o4Z 译:讯技科技股份有限公司 zJP jsD] 校:讯技科技股份有限公司 V@]SKbK}wN $@@ii+W}\ 书籍概况: CuK>1_Dq KTt+}-vP^ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >-\^ )z 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Angus Macleod先生60多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 etT9}RbQ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Q>\Ho' yH=<KYk 书籍目录 '$Z@oCY# YzQ(\._s 1 引言 9+MW13? 2 光学薄膜基础 _YG@P1 2.1 一般规则 7TEpjSuF 2.2 正入射规则 XlD=<$Nk7 2.3 斜入射规则 ,}\LC;31, 2.4 精确计算 jI'?7@32` 2.5 相干性 q6N{N>-D 3 Essential Macleod的快速预览 yZ 7)|j 4 Essential Macleod的特点 CVvl &on 4.1 容量和局限性 B8eZ}9X 4.2 程序在哪? oexTz[ 4.3 数据文件 u:']jw=f 4.4 设计规则 oQrfrA&=M 4.5 材料数据库和目录库 \9@}0}%` 4.5.1 材料数据库及导入材料 Y[vP]7- 4.5.2 材料目录库 mhv6.W@ 4.5.3 导出材料数据 5=8v\q?)c 4.6 常用单位 ~Er0$+q=Y; 4.7 插值 Q|P
M6ta 4.8 材料数据的平滑 `q\F C[W 4.9 一般文档编辑规则 8\9W:D@"x 4.10 设计文档 7FkiT 4.10.1 公式 @67GVPcxl 4.10.2 更多关于膜层厚度 n|? sNM<J3 4.10.3 沉积密度 s0]ZE\`H> 4.10.4 性能计算 %]Nm'"Y`U 4.10.5 保存设计和性能 ZbVn"he 4.10.6 默认设计 `),U+ 4.11 图表 8 e_] 4.11.1 合并曲线图 ]hy@5Jyh 4.11.2 自适应绘制 sVFX(yx0 4.11.3 动态参数图 `jR8RDD 4.11.4 3D绘图 xjF>AAM_Px 4.12导入和导出 *g
%bdO 4.12.1 剪贴板 ^wc:qll 4.12.2 不通过剪贴板导入 <$hv{a 4.12.3 不通过剪贴板导出 ~8UMwpl- 4.13 背景(Context) @YRy)+ 4.14 扩展公式 - 生成设计 KPDJ$,: 4.15 生成Rugate @aN~97
H\ 4.16 参考文献 cAGM|% 5 在Essential Macleod中建立一个Job olr#3te 5.1 Jobs GIkeZV{4} 5.2 创建一个新的Job !]}C!dXd 5.3 输入材料 KztQT9kY 5.4 设计数据文件夹 _-H,S)kI` 5.5 默认设计 ]K8G}|Wy6 6 细化和合成 [_`yy 6.1 最优化导论 nh0gT>a>@ 6.2 细化 %-fS:~$ 6.3 合成 W`u @{Vb] 6.4 目标和评价函数 K@DFu5 6.4.1 目标输入 +~YoP> 6.4.2 目标关联 ;qy;;usa 6.4.3 特殊的评价函数 UroC8Tm 6.5 膜层锁定和关联 J!RRG~ 6.6 优化技术 A-.Wd7^~* 6.6.1 单纯形 'Lu xF1> 6.6.1.1单纯形参数 ^K: :g) 6.6.2 Optimac pzjNi=vhd 6.6.2.1 Optimac参数 ZU0*iA 6.6.3 模拟退火算法 %Qb}z@>fJk 6.6.3.1退火参数 <KtL,a=2+ 6.6.4 共轭梯度 ltU{P|7!E 6.6.4.1共轭梯度参数 js;YSg{m 6.6.5 拟牛顿法 0~_I9|FN 6.6.5.1 拟牛顿法参数: RTbV!I 6.6.6 针形合成 >ySO.S 6.7 我应该使用哪种技术? <Piq?&VX[ 6.7.1 细化 AB0}6g^O 6.7.2 合成 6{udNv X 6.8 参考文献 of7p~{3H 7 导纳图和其他工具 uVhzJu. 7.1 介绍 nO'C2)bBSG 7.2 导纳变换 YMNLn9 7.2.1 四分之一波长规则 FIAmAZH}_ 7.2.2 导纳轨迹图 htrtiJ1 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 ^*UtF9~%n 7.4 全介质抗反射膜的应用 =
=Q*|L-g 7.5 对称周期结构 e2tru_# 7.6 参考文献 1ljcbD)T; 8.典型的镀膜实例 }#M>CNi'PU 8.1 单层抗反射膜 Eb6cL`#N 8.2 1/4-1/4抗反射膜 lb*;Z7fx<' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射膜 0|K<$e6IH 8.4 W-膜层 @p/"]zf 8.5 V-膜层 9An\uH)mL 8.6 高折射基底V-膜层 Uc,.. 8.7 高折射率基底b V-膜层 FqGMHM\J 8.8 1/4-1/4高折射率基底 ~#VDJ[Z 8.9 四层抗反射膜 B<Cg_C 8.10 Reichert抗反射膜 kef%5B 8.11 可见光和1.06um抗反射膜 z<^LY] 8.12 宽波段6层抗反射膜 1 |)CQ 8.13 宽波段8层抗反射膜 b KIL@AI 8.14 宽波段25层抗反射膜 Y}q~Km 8.15 四层2-1 增透膜 &Qj1uf92. 8.16 1/4波长堆栈 ^
T`T?*h 8.17 陷波滤光器 n"}*C|(k 8.18 Rugate sredL#]BA 8.19 消偏振分光片1 :yi} CM4 8.20 消偏振分光片2 "Y5 :{Kj 8.21 消偏振立体分光片 8KkN
"4' 8.22 消偏振截止滤光片 sKs`gi2 8.23 偏振立体分光片1 YwZx{%f 8.24 偏振立体分光片2 L:?Ew9Lf 8.25 缓冲层 #j+cl' 8.26 红外截止滤光片 3QVUWhJ 8.27 21层长波通过光片 /CKn XU; 8.28 49层长波通滤光片 y0?HZ Xq 8.29 55层长波通滤光片 Z!fbc#L6
8.30 宽带通滤光片 #cW:04 8.31 诱导透射滤光片 YSfJUB!I 8.32 诱导透射滤光片2 U H+#Nel+! 8.33 简易密集型光波复用(DWDM)滤光片 m!^$_d\%~ 8.34 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤光片 (~5]1S}F 8.35 增益平坦滤光片 0Y0`$
8.36 啁啾反射镜1 X&rsWk 8.37 啁啾反射镜2 MF*4E9Ue. 8.38 啁啾反射镜3 d( ru5*p 8.39 铝保护膜 9H:J&'Xi7 8.40 铝反射增强膜 vd$>nJ" 8.41 参考文献 tu{paQ 9 多层膜 ;.=0""-IF 9.1 多层膜基本原理—堆栈 c(b`eUOO 9.2 内透过率 9jx>&MnWs 9.3 简单例子 7i02M~*uS 9.4 简单例子2 L*4=b
(3 9.5 圆锥和带宽计算 y@2"[fo3~ 9.6 在Design中加入堆栈进行计算 U,fPG/9 10 光学镀膜色彩 M%Vp_
0 10.1 介绍 nox-)e 10.2 色彩 "s_S!;w@ 10.3 主色调和纯度 !Z{7X ^ 10.4 色度和浓度 (G$Q\> 10.5 薄膜的颜色和最优化颜色刺激 Buq(L6P9r 10.6 Essential Macleod中的色彩计算 k,<7)- 10.7 参考文献 q;f L@L@- 11 薄膜中的短脉冲现象 T/%Y_.NtU 11.1 短脉冲 kJNg>SN*@# 11.2 群速度 3i4m!g5Z? 11.3 群速度色散 RF
-c`C 11.4 啁啾 'IVC!uL,% 11.5 光学薄膜—相变 <m{#u4FC' 11.6 群延时和群延迟色散 DR]oK_ 11.7 色散 \'('HFr, 11.8 色散补偿 R*k;4*1u 11.9 空间光线移位 $/(``8li_ 11.10 参考文献 Hv:~)h$ 12 公差与误差 )Wt&*WMFXl 12.1 蒙特卡罗模型 8NE[L#k 12.2 Essential Macleod中的误差分析工具 yiH;fK +x 12.2.1 误差分析工具 87)/dHc 12.2.2 灵敏度工具 | "M1+(k7 12.2.2.1 Independent Sensitivity 9o P 12.2.2.2 灵敏度分布
M\JAB ;A 12.2.3 Simulator—一个更高级模型 n? =O@yq 12.3 参考文献 Qn-nO_JL 13 Runsheet 与Simulator j!;E>`g 13.1 基本原理 $ER$|9)KD 13.2 边带滤光片设计 jG}nOI 14 光学常数提取 oz|+{b}% 14.1 介绍 9q&~!>lt 14.2 介电薄膜 WHLTJ]OB 14.3 n和k提取工具 %=s2>vv9 14.4 基底 w6lx&K- 14.5 金属的光学常数 >>y\idg&: 14.6 不正确的模型 ]ERAt^$0 14.7 参考文献 M9~'dS'XI 15 反演工程 d]sg9` 15.1 随机和系统误差 '%TD#!a 15.2 系统常见的问题 Dd,
&a 15.3 单层膜 NQiu>Sg 15.4 多层模 N693eN! 15.5 建议 [{vX*q
3B 15.6 反演工程 )`gxaT>&l 16 应力、张力、温度和均匀性工具 ajkpU.6E: 16.1 温度引起光学性能的改变 +I*a=qjq 16.2 应力工具 t)O]0)
s 16.3 平均误差 @cx#' 16.3.1 Taper工具 W!=ur,F+ 16.3.2 波像差问题 fti0Tz' 16.4 参考文献 K 4{[s
z 17 如何在Function中编写操作数 OP_\V8= 17.1 引言 )lU ocm 17.2 操作数 S~|\bnE 18 如何在Function中编写脚本 (5hUoDr! 18.1 简介 "s`#`' 18.2 什么是脚本? 2<AQ{
c 18.3 Function中脚本和操作数的对比 Y10 18.4 基本概念 ~0Zy$L/D 18.4.1 Classes :Z83*SPc 18.4.2 Objects !<X/_+G\ 18.4.3 Messages R.GDCGAL 18.4.4 Properties E=,fdyj. 18.4.5 Methods *N6sxFs 18.4.6 显式声明 *W 04$N 18.5创建对象 mWLi XKnb 18.5.1 创建对象函数 g]?>6 %#rA 18.5.2 使用ThisSession和其他对象 k@>(sXs 18.5.3 概要 G%}k_vi&q 18.6 脚本中的表格 +*eVi3 18.6.1 方法1 &*Kk>
4 18.6.2 方法2 oXVx9dZ 18.7 注释 Udjn.D 18.8 Scripts脚本管理器 &=In 18.9 更高级的脚本命令 AJ#YjkO>] 18.10 <Esc>键 %hz5) 18.11 优化用脚本 8ddBQfCY 18.12 脚本对话框 kD((1v*D$ 18.12.1 介绍 %qVD-Jln 18.12.2 消息框-MsgBox yhnPS4DC 18.12.3 输入框函数 (d .M} G 18.12.4 自定义对话框 N6*FlG- 18.12.5 对话框编辑器 -BwZ 18.12.6 对话框的控制 !rZZ/M"i 18.12.7 更高级的对话框 OU?.}qc<wE 18.13 进一步研究 :j32 :/u 19 vStack '@^mesMG 19.1 vStack基本原理 rfh`;G5s 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 /f=31<+MtF 19.3 五棱镜 wkJ@#jD*[ 19.4 二向分色棱镜 X LY>}r 19.5 偏振泄漏 |`AJP 19.6 波前差—相位 %9L+ Q1o 19.7 其他参数 6r h#ATep 20 报告生成器 :{KpnJvd 20.1 介绍 ~*tn|?% 20.2 指令 @qF:v]=_@ 20.3 页面布局指令 O6\c1ha 20.4 常见的Plots图和三维图 P_.AqEH 20.5 常见参数表 hij
9r z 20.6 重复指令 S++jwP 20.7 报告模版 owA.P-4 20.8 预备设计一个报告模版 $+U6c~^^ 21 一个新项目 +h1X-K:I 21.1 创建一个新Job -x!JTx[K 21.2 默认设计 {?}^HW9{ 21.3 薄膜设计 z)u\(W*\iA 21.4 误差的灵敏度 eyn-bw 21.5 显色性 *(Z\"o! 21.6 电场分布 rX?%{M,xFw c+##!_[9 价格:498元
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