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1. 软件简介 "z{/*uM2< 4
neZw'm TSolidX基于实际半导体工艺和掩模版图设计的3D建模软件,借助易于使用的UI,可以提供三种类型的3D建模结构(实体模型,曲面三角网格,3D四面体网格)作为可在商业CAD,CAE,CAM软件中使用的各种CAx格式数据。 Zi~. 5-X$"Z|@ 1.1 应用领域 K,g6y#1" }_nBegv TSolidX能生成多种3D模型:
"du(BZw OLED像素结构; z\m$>C| PCB衬底设计; cb^IJA9}
散热器结构; kH eD(Ea 生物医学传感器; ?{ )'O+s 太阳能电池; $mPR)T %unn{92) 1.2 主要功能 zDdo RK@ NCKR<!( 内置布局编辑器,并且可以通过Skill语言界面直接从其他商业布局运行; j\>&]0-Iq 高级mesh生成技术:用多样的结构生成功能创建真实的结构; GJB+]b- 可以定义各种堆栈信息和过程条件(厚度,台阶覆盖率,平面度,锥度模型,非选择性蚀刻,蚀刻阻挡层等),这些各种高级功能可以帮助生成准确的3D网格结构; `j{3|C= 提供了蚀刻工艺选项,包括非选择性蚀刻,蚀刻停止剂,湿法蚀刻功能,半色调掩模进行的部分蚀刻; QZVyU8j3 提供3种3D网格类型:锥形,锥形保形和曼哈顿; 9K&$8aD 附加布局程序,为“ TSolid Viewer”,可以识别GDS文件以及2D掩膜板设计; }rJqMZ]w 有多种类型的CAx格式文件可用于导出数据:对于实体模型,提供了step和IGES格式,对于3D三角形网格,提供了STL, Stanford triangle, Nastran, alias/wavefront/autocad dxf等,为3D四方网格提供了Nastran,ansys,Gmsh,abaqus输入格式,为满足客户的需求,也可以添加特定的格式文件; 8'Q+%{?1t 提供自适应和非结构化网格算法,可以控制边缘,表面和体积条件; 2U[/"JL 通过使用变量功能可以非常轻松快捷地生成各种3D网格结构,可设置的变量参数:厚度,水平度(平面化),锥角和宽度,CD余量,圆角倒圆和移位距离; Tv|'6P 支持分布式和并行计算方法 QT%`=b e8`d<U 1.3 应用举例 wrkw,H 5S4Nx> 下图显示了带有体积网格的太阳能电池的输出文件,从正面,侧面和俯视图来看,该文件称为3D四方网格。 (f&V 7n cIO/8D#zU j0L%jz 执行变形分析 Vx!ZF+ bSIY|/d+ TIp\-
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