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任务/系统视图 QALr \Jc}Hzug  9)=bBQyr: dikX_ Q>D 亮点 KX!/n`2u n[i:$! ,  7iv g3*
w&es N$2 显微镜系统中光栅的全矢量分析 k+i0@G 'C( 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 k'e1ZAn 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ei1;@k/ 4~oRcO8!Y 说明：光源 kD QE*o %Y#W#G  1_9Ka
V cR55,DR,#W  ~K|ha26W d%q&[<'jf 说明：透镜系统
? uP5("c \>.[QQVI"l  AhjCRYk+ 说明：样品结构 Ag(J SVY ;<0 ~^ ,Xm  Y37qjV cL #zE 说明：探测器 QiVKaBS8 `8\" 3 S  ) R5 [a O
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X <+%y 结果：3D光线追迹 # X{lV]Z M[iWWCX  C\bJ_vl;' 4@ny%_/  C4d CaiX nS.qK/.s 结果：光线追迹 Pu BE=9, k"/}9[6:U5  lPA}06hU y<v-,b* 结果：光线追迹衍射级数 Z%I 'sWOd { Rxb_9  rJ6N'vw> &wkb r2P 结果：场追迹采样平面 ,^v_gc <{Rz1CMc  K}whqe]j )7E7K%:b, 结果：场追迹焦平面 tgeXX1Eq! UhU+vy6)/  +j8-l-o KYg'=({x 结果：减小光栅周期 rC/z8m3z
]yFO~ 4Nu 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 >oAXS\ Ts ;__k*<+{.
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