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任务/系统说明 %2)'dtPD~ ,#PeK( Ph*tZrd*# HXTZ`'Rv 亮点 7#BpGQJQ 0 oFRcU \Q+<G-Kb. R8lBhLs •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; Wl:vO^ •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; :3# t; OJL?[<I 具体要求:光源 Gdd lB2L)x "3"9sIZ( ( &U8NeWZ \*0ow`|K 具体要求:用于准直的消色差透镜 BEkxH. =sk]/64h`` $DOBC@xxzT 0b0.xz\~U 5!T\L~tyt )h0F'MzW )kSE5|:pi ]$'w8<D>t, 具体要求:分束器 A7!=`yA$ n)(E 0h A3C#wJ ZS@Cd9* 具体要求:参考光路反射镜 OE(Z)|LF MH+t`/E0] #
4AyA$t Xx~XW^lsh fCL5Et p
xrd D7 具体要求:测试光路反射镜 UGNFWZ c
]:m}nJ_ fT-yY` LB|FVNW/S 具体要求:探测器 X#$mBRK7 %G& Zm$u= $:R"IqDG dHnR)[?e 结果:3D光线追迹 gOpGwpYZ, OQ>r;)/ jOppru5U Jb'M/iG 结果:场追迹 F^Yt\V~T 1k2+eI f>Mg.9gJ( g|r:+%,M 结果:移动样品的场追迹结果 Zb)j2Xgl
5gV%jQgkC ZW$PJmz 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 Y4Hi<JWo
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